[发明专利]片材检查装置

权利要求书

1.一种片材检查装置，对片状的被检查物进行检查，所述片材检查装置的特征在于包括：

光源，对所述被检查物的第1面照射光；

摄像传感器，被配置成，能够通过从所述光源照射并透射过所述被检查物的光来拍摄所述被检查物；

处理部，基于由所述摄像传感器所获得的所述被检查物的图像，检测所述被检查物中所含的异常部位，并且判别在所述检测出的异常部位所产生的异常种类；以及

输出部，输出与所述异常部位相关的信息，所述信息至少包含表示由所述处理部所判别的异常种类的信息，

其中所述光源的光量及所述摄像传感器的增益中的至少一个经调整为，在未配置所述被检查物的状态下从所述光源直接入射至所述摄像传感器的光的亮度达到与所述摄像传感器的可计测范围的上限相同或实质上相同，所谓实质上相同是指±10％以内。

2.根据权利要求1所述的片材检查装置，其特征在于，

所述处理部在与所述被检查物上的任意选择的注视位置对应的所述被检查物的图像的亮度比所述被检查物无异常的状态即通常状态时大的情况下，将所述注视位置检测为异常部位，

在所述异常部位的亮度比规定阈值大的情况下，将在所述异常部位产生的异常种类判别为针孔缺陷，

在所述异常部位的亮度比规定阈值小的情况下，将在所述异常部位产生的异常种类判别为针孔缺陷以外的明缺陷。

3.根据权利要求1或2所述的片材检查装置，其特征在于，

所述光源所照射的光为短波长的光。

4.根据权利要求1所述的片材检查装置，其特征在于，

所述摄像传感器仅接收短波长的光。

5.一种片材检查装置，其对片状的被检查物进行检查，所述片材检查装置的特征在于包括：

第1光源，对所述被检查物的第1面照射第1波长的光；

第2光源，对所述被检查物的第1面照射与所述第1波长不同的第2波长的光；

拍摄装置，具备接收所述第1波长的光的第1摄像传感器、及接收所述第2波长的光的第2摄像传感器，且被配置成，能够通过从所述第1光源与所述第2光源照射并透射过所述被检查物的光来拍摄所述被检查物；

处理部，基于由所述第1摄像传感器所获得的所述被检查物的第1图像与由所述第2摄像传感器所获得的所述被检查物的第2图像，来检测所述被检查物中所含的异常部位，并且判别在所述检测出的异常部位所产生的异常种类；以及

输出部，输出与所述异常部位相关的信息，所述信息至少包含表示由所述处理部所判别的异常种类的信息，

其中所述第1光源的光量及所述第1摄像传感器的增益中的至少一个经调整为，在未配置所述被检查物的状态下从所述第1光源直接入射至所述第1摄像传感器的光的亮度达到与所述第1摄像传感器的可计测范围的上限相同或实质上相同，所谓实质上相同是指±10％以内。

6.根据权利要求5所述的片材检查装置，其特征在于，

所述第2光源的光量及所述第2摄像传感器的增益中的至少一个经调整为，在所述被检查物无异常的情况下，从所述第2光源透射过所述被检查物而入射至所述第2摄像传感器的光的亮度达到与所述第2摄像传感器的可计测范围的中值相同或实质上相同，所谓实质上相同是指±10％以内。

7.根据权利要求5或6所述的片材检查装置，其特征在于，

所述第1波长比所述第2波长短。

8.根据权利要求5所述的片材检查装置，其特征在于，

所述处理部在与所述被检查物上的任意选择的注视位置对应的所述第2图像的亮度比所述被检查物无异常的状态即通常状态时小的情况下，将所述注视位置检测为异常部位，且将异常种类判别为暗缺陷，

在与所述注视位置对应的所述第1图像及第2图像中的至少一个的亮度比所述被检查物无异常的状态即通常状态时大的情况下，将所述注视位置检测为异常部位，在与所述异常部位对应的所述第1图像的亮度比规定阈值大的情况下，将异常种类判别为针孔缺陷，

在与所述异常部位对应的所述第1图像的亮度比规定阈值小的情况下，将异常种类判别为针孔缺陷以外的明缺陷。