[发明专利]具有长期连续工作能力的离子束抛光设备

说明书

本发明公开了具有长期连续工作能力的离子束抛光设备，包括放电腔、阳极板、格栅板，最外层格栅板上设置安装块，安装块上设置钨丝，所述钨丝的自由端伸出至安装块外侧，相邻两块格栅板之间设置陶瓷连接块，陶瓷连接块的相对两侧分别与两块格栅板固定连接，格栅板上的通孔分布在格栅板中心位置；安装块设置有两个，两个安装块对称分布在格栅板中心的两侧，每个安装块上均连接一根钨丝，两根钨丝的自由端相互缠绕；安装块朝向格栅板中心位置的侧面设置凹槽，且所述凹槽的孔径从敞口端至内部线性增大。本发明用以解决现有技术中离子束抛光机无法保持长时间正常工作的问题，实现提高离子束抛光机的正常工作时长、降低清理频率的目的。

技术领域

本发明涉及离子束抛光领域，具体涉及具有长期连续工作能力的离子束抛光设备。

背景技术

所谓离子束抛光，就是把惰性气体，如氩、氮等放在密闭空间中，用高频电磁振荡或放电等方法对阴极电流加热，使之电离成为正离子，再用5千至10万伏高电压对这些正离子加速，使它们具有一定的能量。利用电子透镜聚焦，将它们聚焦成一细束,形成高能量密度离子流，在计算机的控制下轰击放在真空室经过精磨的工件表面，从其表面把工件物质一个原子一个原子地溅射掉。用这种方法实现对工件表面进行深度从100埃到10微米左右的精密加工。现有的小型离子束抛光机，大都在放电腔的出口端设置格栅板，格栅板外设置钨丝作为阴极，阳极设置在放电腔内，实现透过格栅板的电离，通过格栅板实现离子束的生成。然而，现有技术中，由于钨丝无法单独设置，都需要在格栅板外设置安装块来固定钨丝，钨丝的一端悬空在安装块外，在工作过程中，由于钨丝温度极高，钨丝会逐渐处于熔融状态，甚至会端部下坠搭靠在格栅板上，同时钨丝电离过程中会产生大量正离子，这些离子会附着在格栅板、安装块表面，时间稍长就会铺满格栅板和安装块表面，形成导体，并与搭靠在格栅板上的钨丝构成一个完整的回路，导致钨丝被短路，无法正常电离出阳离子，导致离子束抛光机无法在较长时间内保持正常工作，需要间隔工作时间进行清理。

发明内容

本发明的目的在于提供具有长期连续工作能力的离子束抛光设备，以解决现有技术中离子束抛光机无法保持长时间正常工作的问题，实现提高离子束抛光机的正常工作时长、降低清理频率的目的。

本发明通过下述技术方案实现：

具有长期连续工作能力的离子束抛光设备，包括放电腔、位于放电腔内的阳极板、以及设置在放电腔出口端的若干层格栅板，最外层格栅板上设置安装块，所述安装块上设置钨丝，所述钨丝的自由端伸出至安装块外侧，相邻两块格栅板之间设置陶瓷连接块，所述陶瓷连接块的相对两侧分别与两块格栅板固定连接，格栅板上的通孔分布在格栅板中心位置；所述安装块设置有两个，两个安装块对称分布在格栅板中心的两侧，每个安装块上均连接一根钨丝，两根钨丝的自由端均朝向格栅板中心位置伸出，且两根钨丝的自由端相互缠绕；所述安装块朝向格栅板中心位置的侧面设置凹槽，且所述凹槽的孔径从敞口端至内部线性增大。