[发明专利]一种超疏水纸及其制备方法

权利要求书

1.一种超疏水纸的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）对纸张进行羟基化改性；所述纸张的羟基化反应为：将纸张浸渍在碱性溶液中3～10min后取出，将其放在双层聚乙烯薄膜的中间，于110℃下烘3min；

（2）采用等离子刻蚀法对纸张进行刻蚀；所述等离子刻蚀法对纸张纤维的工艺为：SF₆的流量为10～280 sccm，O₂的流量为5～60 sccm，C₄F₈的流量为6～120sccm，功率为300～1200W，RF功率为0～50W，RF的频率为0～500Hz，占空比为0～50％，刻蚀温度为10～50℃，腔室压力为10～100mT；将刻蚀后的纸张置于含氟试剂的蒸气中，在100～350℃下静置1～2h，然后冷却到室温，得到氟改性纸张；

（3）以Ar为气源对纸张进行等离子体预处理；对纸张进行等离子体预处理的工艺为：Ar的流量10～100sccm，腔室压力为10～100mT，射频功率为15～220W，基底温度50～120℃，清洗时间5～10min；

（4）采用等离子体化学气相沉积法在纸张表面沉积超疏水薄膜；所述等离子体化学气相沉积法在纸张表面沉积超疏水薄膜的工艺为：CF₄的流量为30～90sccm，CH₄的流量为20～100sccm，Ar的流量是20～120sccm，功率100～500W，RF功率50～250W，沉积温度为30～120℃，腔室压力为15～45T，沉积时间为5～15min。

2.根据权利要求1所述的超疏水纸的制备方法，其特征在于，所述含氟试剂选自十七氟癸基三甲氧基硅烷、全氟辛烷磺酸、全氟癸基三乙氧基硅烷或全氟辛基甲基二氯硅烷的一种或多种。

3.根据权利要求1所述的超疏水纸的制备方法，其特征在于，所述碱性溶液的pH值为8～12。

4.一种超疏水纸，其特征在于，根据权利要求1～3中任意一项所述的超疏水纸的制备方法制备得到。

5.根据权利要求4所述的超疏水纸，其特征在于，所述超疏水纸中氟元素的质量含量为3-5%。