[发明专利]近红外线截止滤光片及其制造工艺

说明书

本发明涉一种近红外线截止滤光片及其制造工艺，近红外线截止滤光片包括玻璃基材及镀于所述玻璃基材的至少一个表面的至少一层无机红外线吸收层，每一层无机红外线吸收层的材料为吸收近红外线的RCuPO4陶瓷晶体粉末，其中R为碱金金属或碱土金属，碱金金属是选自锂、钠、钾及铷中一者，碱土金属是选自铍、镁、钙、锶、钡及锌中一者。每一层无机红外线吸收层的厚度介于500nm与5000nm间。本申请的无机红外线吸收层通过PVD制程直接镀于玻璃基材，以利近红外线截止滤光片的生产，提升近红外线截止滤光片的量产性，也使近红外线截止滤光片符合薄型化的需求。

技术领域

本发明涉及一种滤光片的技术领域，尤其涉及一种近红外线截止滤光片及其制造工艺。

背景技术

近红外线截止滤光片已广泛应用于影像传感器(CCD&CMOS)等摄影组件，其基材可分为无机材(玻璃)、有机材(塑胶)及与有机无机复合材(玻璃+有机染料涂布)等。

使用无机材为基材的近红外线截止滤光片是如使用含铜的磷酸盐玻璃或含铜的氟磷酸盐玻璃为基材的近红外线截止滤光片，其基材的缺点具有薄化制程易碎与不耐酸碱之性质。然目前滤光片的厚度趋向薄型化，基材厚度需小于0.1mm，有一定的制程难度。

使用有机材为基材的近红外线截止滤光片是如以COC树脂添加近红外光吸收型染料形成近近红外线截止滤光片，其具有较玻璃轻薄化优势。但此滤光片的缺点为其所添加的近红外光吸收型染料只能吸收特定波段之光线(如波段介于700nm与800nm间)，如须达到700nm与1200nm间的全近红外光波段吸收，仍需藉由PVD镀膜方式于近红外线截止滤光片的表面镀上一层红外线截止膜，已达到全近红外光波段吸收效果。但必须控制PVD镀膜的温度，避免有机材料不耐高温而产生质变的问题。

使用有机无机复合材为基材的近红外线截止滤光片是如以在玻璃基材上涂布有机红外线吸收层的近红外线截止滤光片，其玻璃基材可选用强度高且厚度薄(50um与200um间)的透明硼硅酸盐或铝硅酸盐玻璃。但此滤光片的缺点是有机红外线吸收层所使用的有机染料仍无法达到700nm与1200nm间的全近红外光波段吸收。

发明内容

针对现有技术中的不足，本发明的目的是提供一种近红外线截止滤光片及其制造工艺。

为了解决上述技术问题，本申请揭示了一种近红外线截止滤光片，其特征在于，包括玻璃基材及镀于玻璃基材的至少一个表面的至少一层无机红外线吸收层，每一层无机红外线吸收层的材料为吸收近红外线的RCuPO₄陶瓷晶体粉末，其中R为碱金金属或碱土金属，碱金金属是选自锂、钠、钾及铷中一者，碱土金属是选自铍、镁、钙、锶、钡及锌中一者；其中每一层无机红外线吸收层的厚度介于500nm与5000nm间。

本申请更提供一种近红外线截止滤光片的制造工艺，其特征在于，包括制备RCuPO₄陶瓷晶体粉末；制备RCuPO4陶瓷锭；以及以RCuPO₄陶瓷锭为靶材，并通过PVD制程将RCuPO₄陶瓷晶体镀于玻璃基材，并于玻璃基材的至少一个表面上形成至少一层无机红外线吸收层；其中制备RCuPO₄陶瓷晶体粉末的步骤更包括制备RCuPO₄前驱物，RCuPO₄前驱物是混合搅拌所述铜源、碱源、磷酸源及柠檬酸水溶液形成，其中铜源、碱源及磷酸源的比例为1:1:1；去除混合溶液的水分而获得溶胶；去除RCuPO₄溶胶的水分而获得RCuPO₄起始粉末；研磨RCuPO₄起始粉末成细粉状RCuPO₄起始粉末；加热细粉状RCuPO₄起始粉末而得到RCuPO₄陶瓷晶体粉末；其中R为碱金金属或碱土金属，碱金金属是选自锂、钠、钾及铷中一者，碱土金属是选自铍、镁、钙、锶、钡及锌中一者；其中每一层无机红外线吸收层的厚度介于500nm与5000nm间。