[发明专利]一种阻尼可调的精密直驱气浮平台有效
| 申请号： | 201710809671.6 | 申请日： | 2017-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN107598869B | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 陈东生;张连新;阳红;王宝瑞;刘有海;宋颖慧;张敏;吕磊;戴晓静 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 主分类号： | B25H1/14 | 分类号： | B25H1/14 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 阻尼 可调 精密 直驱气浮 平台 | ||
1.一种阻尼可调的精密直驱气浮平台，其特征在于：所述的平台包含大理石基座(1)、气浮左支承机构(2)、工作台(3)、直线电机安装过渡板(4)、气浮右支承机构(5)、光栅读数头(6)、驱动用直线电机动子(7)、驱动用直线电机定子(8)、阻尼用直线电机动子(9)、阻尼用直线电机定子(10)、光栅尺(11)、第一电阻调节旋钮(12)、第一可调电阻(13)、第二电阻调节旋钮(14)、第二可调电阻(15)、第三电阻调节旋钮(16)、第三可调电阻(17)、阻尼电机线圈线缆(18)；其连接关系是：所述的气浮左支承机构(2)、气浮右支承机构(5)与大理石基座(1)固定连接，工作台(3)与气浮左支承机构(2)、气浮右支承机构(5)连接；光栅读数头(6)固定安装在工作台(3)侧面，光栅尺(11)与气浮右支承机构(5)固定连接；在工作台(3)运动时，通过读数头(6)检测工作台(3)的位置；直线电机安装过渡板(4)连接在工作台(3)的底部，驱动用直线电机动子(7)、阻尼用直线电机动子(9)与直线电机安装过渡板(4)固定连接，驱动用直线电机定子(8)、阻尼用直线电机定子(10)与大理石基座(1)固定连接；第一可调电阻(13)、第二可调电阻(15)、第三可调电阻(17)进行三角型连接，再与阻尼电机线圈线缆(18)连接作为三相负载。
2.根据权利要求1所述的种阻尼可调的精密直驱气浮平台，其特征在于：阻尼用直线电机安装在工作台(3)底部，与驱动用直线电机平行安装。
3.根据权利要求1所述的种阻尼可调的精密直驱气浮平台，其特征在于：阻尼用直线电机与采用三角形连接的第一可调电阻(13)、第二可调电阻(15)、第三可调电阻(17)连接。
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