[发明专利]热场温度均匀的多晶硅铸锭炉复合保温结构

权利要求书

1.一种热场温度均匀的多晶硅铸锭炉复合保温结构，包括铸锭炉内的碳纤维外保温层（1）、碳纤维内保温层（4）和铸锭炉加热器（8），在碳纤维外保温层（1）与碳纤维内保温层（4）之间设置有空心层（9），其特征在于，在空心层（9）中设置有镜面高温钼屏（3），在镜面高温钼屏（3）上设置有碳碳螺杆穿过孔（10），碳碳螺杆（2）依次穿过碳纤维外保温层（1）、镜面高温钼屏（3）上设置的碳碳螺杆穿过孔（10）和碳纤维内保温层（4）后与碳碳螺母（5）连接在一起，在碳碳螺杆穿过孔（10）外侧的碳碳螺杆（2）上设置有镜面高温钼屏的外侧氮化硼固定件（7），在碳碳螺杆穿过孔（10）内侧的碳碳螺杆（2）上设置有镜面高温钼屏的内侧氮化硼固定件（11）。

2.根据权利要求1所述的一种热场温度均匀的多晶硅铸锭炉复合保温结构，其特征在于，在碳纤维内保温层（4）的两表面上均设置有矩阵式锥孔（6），矩阵式锥孔（6）的孔口直径为5毫米，孔间距为8毫米，锥孔的锥度为64度。

3.根据权利要求2所述的一种热场温度均匀的多晶硅铸锭炉复合保温结构，其特征在于，在碳纤维内保温层（4）的表面上设置的矩阵式锥孔（6）的锥孔口的表面积之和是碳纤维内保温层（4）的表面积的二分之一。