[发明专利]粒子浓缩装置在审
| 申请号: | 201710804784.7 | 申请日: | 2017-09-08 |
| 公开(公告)号: | CN107809065A | 公开(公告)日: | 2018-03-16 |
| 发明(设计)人: | 关洋;上野良弘;奥田浩史;樱井博 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号: | H01T23/00 | 分类号: | H01T23/00;G01N15/02 |
| 代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人: | 刘新宇,张会华 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 粒子 浓缩 装置 | ||
1.一种粒子浓缩装置,其用于使气体中的粒子的密度增加,其特征在于,该粒子浓缩装置具备:
壳体,在其内部能形成第1气流和第2气流,该第1气流含有作为浓缩对象的粒子带电而成的带电粒子,该第2气流与该第1气流相邻并沿着与该第1气流相同的方向流动,且含有作为浓缩对象的粒子带电而成的带电粒子或该粒子不带电的非带电粒子;
电场形成部,其在所述壳体内形成使所述第1气流中的带电粒子横穿该第1气流而移动至所述第2气流中的电场;以及
导出部,其使含有在由所述电场形成部形成的电场的作用下移动来的带电粒子的所述第2气流从所述壳体向外导出。
2.根据权利要求1所述的粒子浓缩装置,其特征在于,
所述第1气流的流量比所述第2气流的流量大。
3.根据权利要求2所述的粒子浓缩装置,其特征在于,
该粒子浓缩装置还具备:过滤器,其作为电极,并形成将所述壳体的内部空间分隔成供所述第1气流流动的第1空间和供所述第2气流流动的第2空间的假想的面,该过滤器具有粒子能够通过的开口;以及辅助电源部,其对该过滤器施加预定的电压。
4.根据权利要求3所述的粒子浓缩装置,其特征在于,
该粒子浓缩装置还具备:
气体导入部,其向所述第1空间导入含有粒子的气流;以及
带电部,其使由该气体导入部导入的气流中的粒子带电,
含有利用所述带电部带电了的带电粒子的气流作为所述第1气流在所述第1空间中流动。
5.根据权利要求4所述的粒子浓缩装置,其特征在于,
所述带电部包括在所述第1空间内生成用于使粒子带电的气体离子的气体离子生成部、以及将在所述壳体的外侧生成的气体离子向所述第1空间内供给的气体离子供给部中的任一者。
6.根据权利要求4或5所述的粒子浓缩装置,其特征在于,
所述过滤器包括分开预定间隔地设置的一对电极,所述辅助电源部通过对所述一对电极施加预定的交流电压,阻止存在于所述第1空间的气体离子通过所述过滤器。
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