[发明专利]固体摄像装置和电子设备

权利要求书

1.一种固体摄像装置，其具有：

配置在半导体衬底上的受光元件、电荷保持区域以及浮置扩散区域；

第1传输门，其具有隔着栅绝缘膜配置在所述半导体衬底的所述受光元件与所述电荷保持区域之间的区域上的栅电极；

第2传输门，其具有隔着栅绝缘膜配置在所述半导体衬底的所述电荷保持区域与所述浮置扩散区域之间的区域上的栅电极，

布线层，其包括隔着多个层间绝缘膜配置在所述半导体衬底上的布线；以及

遮光膜，其相对于所述布线层配置在所述半导体衬底侧，对所述电荷保持区域进行遮光。

2.根据权利要求1所述的固体摄像装置，其中，

所述遮光膜与所述第1传输门的所述栅电极电连接。

3.根据权利要求1所述的固体摄像装置，其中，

所述遮光膜与所述第2传输门的所述栅电极电连接。

4.根据权利要求1所述的固体摄像装置，其中，

所述遮光膜与被提供低电位侧的电源电位的布线电连接。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的固体摄像装置，其中，

所述固体摄像装置具有：

配置成1列的4个受光元件；

与所述4个受光元件对应地配置的4个电荷保持区域、4个浮置扩散区域、4个第1传输门以及4个第2传输门；以及

遮光层，其对所述4个电荷保持区域进行遮光，

所述4个浮置扩散区域与1个缓冲晶体管的栅电极电连接。

6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的固体摄像装置，其中，

所述固体摄像装置在配置有逻辑电路的区域内还具有配置在与所述遮光膜相同的高度处的布线。

7.根据权利要求1～5中的任意一项所述的固体摄像装置，其中，

所述遮光膜配置在与配置有逻辑电路的区域内的布线层独立的层中。

8.根据权利要求1～7中的任意一项所述的固体摄像装置，其中，

所述遮光膜具有第1层和第2层，该第1层包含铝或铜，该第2层配置在所述第1层的所述半导体衬底侧，包含氮化钛。

9.根据权利要求8所述的固体摄像装置，其中，

所述第2层的膜厚在50nm～80nm的范围内。

10.根据权利要求8或9所述的固体摄像装置，其中，

所述遮光膜还具有第3层，该第3层配置在所述第2层的所述半导体衬底侧，包含钛。

11.一种电子设备，其具有权利要求1～10中的任意一项所述的固体摄像装置。