[发明专利]一种基于超磁致伸缩薄膜的磁场检测系统在审
| 申请号: | 201710801839.9 | 申请日: | 2017-09-07 |
| 公开(公告)号: | CN107632276A | 公开(公告)日: | 2018-01-26 |
| 发明(设计)人: | 于盟盟 | 申请(专利权)人: | 于盟盟 |
| 主分类号: | G01R33/032 | 分类号: | G01R33/032 |
| 代理公司: | 深圳市精英专利事务所44242 | 代理人: | 冯筠 |
| 地址: | 528100 广东省佛山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 基于 超磁致 伸缩 薄膜 磁场 检测 系统 | ||
1.一种基于超磁致伸缩薄膜的磁场检测系统,包括LD光源、光纤定向耦合器、光电探测器、匹配液、Y型光纤本体和磁场传感器,其中,所述磁场传感器包括:
第一传感探头,直接构造在Y型光纤本体第一端部处,用于检测磁场内的温度以作温度补偿基础;和
第二传感探头,用于检测磁场内的磁场强度,其中,所述第二传感探头包括:
D型光纤光栅悬臂梁,直接构造在Y型光纤本体第二端部处,
金属薄膜,涂覆在所述D型光纤光栅悬臂梁上表面处,
超磁致伸缩薄膜,布置在所述金属薄膜表面处,以感应磁场的强度。
2.根据权利要求1所述的基于超磁致伸缩薄膜的磁场检测系统,其特征在于,所述光纤定向耦合器为2*2光纤定向耦合器,其具有第一端口至第四端口,所述第一端口与所述LD光源连接,所述第二端口与所述Y型光纤本体的输入端连接,第三端口通过光纤与所述光电探测器连接,所述第四端口与所述匹配液连接。
3.根据权利要求2所述的基于超磁致伸缩薄膜的磁场检测系统,其特征在于,所述第三端口与所述光电探测器连接之间的光纤上设有匹配光栅。
4.根据权利要求2所述的基于超磁致伸缩薄膜的磁场检测系统,其特征在于,所述D型光纤光栅悬臂梁构由所述Y型光纤本体的第二端部通过微机械加工出D型悬臂梁,再在所述D型悬臂梁处的纤芯处光刻光栅结构。
5.根据权利要求4所述的基于超磁致伸缩薄膜的磁场检测系统,其特征在于,所述光栅结构构造成倾斜光栅结构。
6.根据权利要求5所述的基于超磁致伸缩薄膜的磁场检测系统,其特征在于,所述第二传感探头与所述Y型光纤本体为一体化结构。
7.根据权利要求1所述的基于超磁致伸缩薄膜的磁场检测系统,其特征在于,所述超磁致伸缩薄膜的厚度为0.5μm-2μm。
8.根据权利要求7所述的基于超磁致伸缩薄膜的磁场检测系统,其特征在于,所述超磁致伸缩薄膜呈长条状,所述超磁致伸缩薄膜的宽度按等于纤芯的直径。
9.根据权利要求1所述的基于超磁致伸缩薄膜的磁场检测系统,其特征在于,所述金属薄膜为金或铬。
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