[发明专利]部件搭载装置以及部件搭载方法

说明书

本发明提供部件搭载装置以及部件搭载方法。利用基板保持工作台保持基板的中央区域的下表面，并利用支承工作台保持基板的端部区域(设置有部件搭载部的区域)的下表面。然后，在使基板保持工作台与支承工作台一起移动而使部件搭载部位于作业位置后，搭载头将部件从上方按压于部件搭载部，从而将部件搭载于基板。然后，在此期间，吸引机构通过在支承工作台的上表面开设的多个吸引口来吸引支承工作台支承的基板的端部区域。

技术领域

本公开涉及在设置于由薄膜状构件构成的基板的端部区域的部件搭载部搭载部件的部件搭载装置。

背景技术

在液晶面板的制造等中使用的部件搭载装置在设置于玻璃基板的端部区域的部件搭载部搭载(临时压接)部件。该部件搭载装置具备保持玻璃基板的基板保持工作台及其移动机构、支承台以及搭载头。基板保持工作台保持玻璃基板的中央区域的下表面，移动机构通过使基板保持工作台移动而使基板的部件搭载部位于规定的作业位置。支承台以其上表面位于作业位置的方式配置在基台上，支承从基板保持工作台露出而位于作业位置的基板的端部区域的下表面。搭载头拾取部件并从作业位置的上方下降，将部件按压于由支承台支承了下表面的基板的部件搭载部，由此将部件搭载于基板(参照日本特开2016-9701号公报)。

发明内容

本公开的部件搭载装置在具有中央区域以及设置有部件搭载部的端部区域的基板上搭载部件，具备：基板保持工作台，其保持所述基板的所述中央区域的下表面；支承工作台，其保持所述基板的所述端部区域的下表面；吸引机构，所述部件搭载装置具有在所述支承工作台的上表面开设的多个吸引口，该吸引机构通过所述多个吸引口吸引所述基板的所述端部区域；工作台移动机构，其使所述基板保持工作台与所述支承工作台一起移动而使所述部件搭载部位于规定的作业位置；以及搭载头，其拾取所述部件，将所述部件从上方按压于所述部件搭载部，从而将所述部件搭载于所述基板。

根据本公开，能够在由薄膜状构件构成的基板上高精度地搭载部件。

附图说明

图1是本公开的一实施方式的部件搭载装置的立体图。

图2是本公开的一实施方式的部件搭载装置的一部分的侧视图。

图3是将利用本公开的一实施方式的部件搭载装置搭载于基板的部件与基板一起示出的立体图。

图4是将本公开的一实施方式的部件搭载装置所具备的基板保持移动部与标记摄像机、基板以及部件一起示出的立体图。

图5是示出本公开的一实施方式的部件搭载装置所具备的基板保持移动部保持基板的状态的俯视图。

图6A是将本公开的一实施方式的部件搭载装置所具备的基板保持移动部与基板一起示出的剖面侧视图。

图6B是将本公开的一实施方式的部件搭载装置所具备的基板保持移动部与基板一起示出的剖面侧视图。

图7A是本公开的一实施方式的部件搭载装置的一部分的侧视图。

图7B是本公开的一实施方式的部件搭载装置的一部分的侧视图。

图8是示出本公开的一实施方式的部件搭载装置的控制系统的框图。

图9A是本公开的一实施方式的部件搭载装置的动作说明图。

图9B是本公开的一实施方式的部件搭载装置的动作说明图。

图9C是本公开的一实施方式的部件搭载装置的动作说明图。

图10是本公开的一实施方式的部件搭载装置的一部分的立体图。

图11A是本公开的一实施方式的部件搭载装置的动作说明图。

图11B是本公开的一实施方式的部件搭载装置的动作说明图。