[发明专利]用于光的二维偏转的微机械装置和方法

权利要求书

1.用于光的二维偏转的微机械装置(10)，所述微机械装置具有：

反射镜组件(12)，该反射镜组件具有用于使照射到反射镜面(13)上的光偏转的所述反射镜面(13)；

其中，所述反射镜组件(12)能够围绕第一轴线(D1)旋转地布置在第一框架组件(14)内部并且固定在所述第一框架组件(14)上；

其中，所述第一框架组件(14)能够围绕第二轴线(D2)旋转地布置在致动结构(16)内部并且固定在所述致动结构(16)上；

其中，所述致动结构(16)具有至少四个压电致动组件(18-i)；并且

其中，所述至少四个压电致动组件(18-i)的位置不仅关于所述第一轴线(D1)而且关于所述第二轴线(D2)对称地布置，

其中，所述压电致动组件(18-i)中的每个压电致动组件通过对应的弯曲梁(20-i)与所述装置(10)的其余部分连接，

其中，所述第一框架组件(14)通过两个扭转梁(22-1、22-2)与所述致动结构(16)连接；其中，所述扭转梁(22-1、22-2)中的每个扭转梁作用在所述致动结构(16)的一个对应区域上，每两个弯曲梁(20-i)在该区域中会合，

其中，所述至少四个压电致动组件布置成：

当在所述至少四个压电致动组件上施加第一组电压时所述至少四个压电致动组件中的第一致动组件和第二致动组件沿垂直于所述第一轴线和所述第二轴线的第三方向运动并且所述至少四个压电致动组件中的第三致动组件和第四致动组件沿与所述第三方向相反的第四方向运动；

当施加第二组电压时所述第二致动组件和所述第四致动组件沿所述第三方向运动并且所述第一致动组件和所述第三致动组件沿所述第四方向运动。

2.根据权利要求1所述的装置(10)，

其中，所述至少四个压电致动组件(18-i)的尺寸在平行于所述第一轴线(D1)的第一方向(x)上是相同的；并且

其中，所述至少四个压电致动组件(18-i)的尺寸在平行于所述第二轴线(D2)的第二方向(y)上是相同的。

3.根据权利要求1或2所述的装置(10)，

其中，所述压电致动组件(18-i)以具有两个较短侧和两个较长侧的矩形形状构造，并且所述弯曲梁(20-i)中的每个弯曲梁使对应的致动组件(18-i)作用在所述较长侧之一的一个对应端部上。

4.根据权利要求1或2所述的装置(10)，

其中，所述压电致动组件(18-i)借助于电导线这样电接通，使得通过所述电导线能够在一个方向(z)上在所述致动组件(18-i)中的每个致动组件上施加一个对应的电压，该方向垂直于通过所述第一轴线(D1)和所述第二轴线(D2)展开的平面。

5.根据权利要求1或2所述的装置(10)，

其中，所述压电致动组件(18-i)借助于电导线这样电接通，使得能够在所述致动组件(18-i)中的每个致动组件上施加周期性电压信号，所述周期性电压信号具有相同的振幅和分别为0°或180°的、能调节的相对相位差。

6.用于光的二维偏转的方法，所述方法具有步骤：

提供(S01)根据权利要求1至5中任一项所述的微机械装置(10)；

将第一周期性电压信号施加(S02)到所述至少四个压电致动组件(18-i)中的第一压电致动组件(18-1)上；

将第二周期性电压信号施加(S03)到所述至少四个压电致动组件(18-i)中的第二压电致动组件(18-2)上；

其中，这样施加所述第一和所述第二电压信号，使得所述第二电压信号的对应当前振幅要么等于所述第一电压信号的对应当前振幅，要么等于所述第一电压信号的对应当前振幅乘以-1，

其中，所述第一电压信号和所述第二电压信号的施加使得所述第一压电致动组件和所述第二压电致动组件沿相同的或相反的方向运动，所述方向是垂直于第一轴线和第二轴线的第三方向和与所述第三方向相反的第四方向中的一个方向。