[发明专利]用于自动调整配给器的配给单元的方法和设备

权利要求书

1.一种配给设备，包括：

框架；

构台，所述构台被配置以提供在X轴方向和Y轴方向上的移动，所述构台包括第一侧轨、第二侧轨以及在所述第一侧轨和所述第二侧轨之间延伸的梁，所述梁被配置为在所述Y轴方向上沿着所述第一侧轨和所述第二侧轨移动，以实现Y轴移动，所述构台进一步包括安装在所述梁上的运输装置，所述运输装置被配置为在所述X轴方向上沿着所述梁的长度移动；

支撑部，所述支撑部被连接到所述框架，所述支撑部被配置以支撑在所述构台下方的至少一个电子衬底；

第一配给器，所述第一配给器被连接到所述运输装置，所述第一配给器被配置以配给材料；

第二配给器，所述第二配给器通过自动调整机构连接到所述运输装置，所述第二配给器被配置以配给材料；

成像器，所述成像器被连接到所述框架和所述构台中的一者，所述成像器被配置以捕捉电子衬底的第一图案和第二图案的至少一张图像，所述第二图案是与所述第一图案基本上相同的；以及

控制器，所述控制器被配置以控制所述构台、所述第一配给器、所述第二配给器、所述自动调整机构和所述成像器的操作，

其中，所述自动调整机构被配置以使所述第二配给器在所述X轴方向上移动，以在配给操作期间操控和调整在所述第一配给器和所述第二配给器之间的间距，在所述配给操作中，所述第一配给器和所述第二配给器在所述电子衬底上配给材料，并且

其中，所述自动调整机构包括线性轴承、安装部块以及第一线性驱动电动机组件，所述线性轴承被固定到所述运输装置，所述安装部块被连接到所述第二配给器并被配置为沿所述线性轴承跨设，所述第一线性驱动电动机组件被配置以使所述安装部块沿所述线性轴承移动。

2.如权利要求1所述的配给设备，其中所述第一线性驱动电动机组件包括滚珠丝杠驱动的线性致动器，所述滚珠丝杠驱动的线性致动器通过机械地连接的电动机被驱动。

3.如权利要求1所述的配给设备，其中所述自动调整机构还被配置为使所述第二配给器在所述Y轴方向上移动，并且包括第一托架和第二托架，所述第一托架被固定到所述安装部块并且在垂直于所述线性轴承的长度的方向上延伸，所述第二托架被固定到所述第二配给器并且被配置以沿所述第一托架跨设。

4.如权利要求3所述的配给设备，其中所述自动调整机构进一步包括第二线性驱动电动机组件，所述第二线性驱动电动机组件被配置以使所述第二托架沿所述第一托架移动。

5.如权利要求4所述的配给设备，其中所述第二线性驱动电动机组件包括滚珠丝杠驱动的线性致动器，所述滚珠丝杠驱动的线性致动器通过机械地连接的电动机被驱动。

6.如权利要求1所述的配给设备，其中，Z驱动机构被配置用于所述第一配给器和所述第二配给器中的每一个，每个所述Z驱动机构被配置以当用所述第一配给器和所述第二配给器中的相应的配给器执行配给操作时，支撑并且降下所述相应的配给器。

7.如权利要求1所述的配给设备，其中如果所述第一图案和所述第二图案没有被正确定位，所述自动调整机构被配置为在继续用所述第一配给器和所述第二配给器配给时动态地定位所述第二配给器。

8.如权利要求7所述的配给设备，其中所述成像器被配置为定位所述电子衬底的至少一部分，并且计算所述电子衬底的所述至少一部分的相对偏移和旋转。