[发明专利]一种镀银的蜂窝状和棒状氧化锌纳米阵列/石墨烯的复合薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种镀银的蜂窝状和棒状氧化锌纳米阵列/石墨烯的复合薄膜，其特征在于：所述镀银的蜂窝状和棒状氧化锌纳米阵列/石墨烯的复合薄膜的结构从下到上依次为铝箔基底、石墨烯涂层、含蜂窝状和棒状的氧化锌纳米墙阵列和镀银层，所述石墨烯涂层通过旋涂和退火还原制备，含蜂窝状和棒状的氧化锌纳米墙阵列通过射频磁控法和水热合成制备，镀银层通过射频磁控法制备。

2.一种镀银的蜂窝状和棒状氧化锌纳米阵列/石墨烯的复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将清洗的铝箔基底表面旋涂氧化石墨烯涂层，真空干燥，得到涂覆氧化石墨烯的基底；

(2)将步骤(1)制备的涂覆氧化石墨烯的基底置于射频磁控装置中，以氧气和氩气为反应气体，在0.5-1.2Pa下，溅射，得到镀有种子层的基底；

(3)将步骤(2)制备的镀有种子层的基底置于硝酸锌和六亚甲基四胺的混合溶液中，滴加十二烷基硫醇，密封，在90-100℃下进行水热反应1-6h，得到含蜂窝状和棒状的氧化锌纳米墙阵列的基底；

(4)将步骤(3)制备的含蜂窝状和棒状氧化锌纳米墙阵列的基底在氩气氛围下，进行直流溅射镀银，退火还原，得到镀银的蜂窝状和棒状氧化锌纳米阵列/石墨烯的复合薄膜。

3.根据权利要求2所述的一种镀银的蜂窝状和棒状氧化锌纳米阵列/石墨烯的复合薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中，真空干燥的温度为60-100℃，时间为1-2h。

4.根据权利要求2所述的一种镀银的蜂窝状和棒状氧化锌纳米阵列/石墨烯的复合薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中，氧气的流量为5-50SCCM，氩气的流量为5-50SCCM，溅射的功率为30-100W，时间为1-10min。

5.根据权利要求2所述的一种镀银的蜂窝状和棒状氧化锌纳米阵列/石墨烯的复合薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)中，硝酸锌和六亚甲基四胺的混合溶液中硝酸锌和六亚甲基四胺的摩尔比为1:1。

6.根据权利要求2所述的一种镀银的蜂窝状和棒状氧化锌纳米阵列/石墨烯的复合薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)中，硝酸锌和六亚甲基四胺的混合溶液与十二烷基硫醇的体积比为10:0.01-0.1。

7.根据权利要求2所述的一种镀银的蜂窝状和棒状氧化锌纳米阵列/石墨烯的复合薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤(4)中，氩气的流量为5-60SCCM，溅射功率为10-50W，时间为10-60s。

8.根据权利要求2所述的一种镀银的蜂窝状和棒状氧化锌纳米阵列/石墨烯的复合薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤(4)中，退火的温度为200-600℃，时间为1-5h。

9.根据权利要求2所述的一种镀银的蜂窝状和棒状氧化锌纳米阵列/石墨烯的复合薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤(4)中，镀银的蜂窝状和棒状氧化锌纳米阵列/石墨烯的复合薄膜的蜂窝状直径为1-2μm，介孔为2-6nm，棒状的直径为0.5-0.8μm，长度为3-4μm。

10.根据权利要求2所述的一种镀银的蜂窝状和棒状氧化锌纳米阵列/石墨烯的复合薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤(4)中，镀银的蜂窝状和棒状氧化锌纳米阵列/石墨烯的复合薄膜用于光催化领域和光电转换方面的应用。