[发明专利]一种真空紫外灯质谱电离源

权利要求书

1.一种真空紫外灯质谱电离源，包括电离源腔体（1）、真空紫外灯（2）、微通道板（3）、阳极电极（8）、气体进样管（10）、推斥电极（9）、差分电极（7）、传输腔体（5）和离子传输电极（6），其特征在于：

所述真空紫外灯（2）、微通道板（3）和阳极电极（8）设置于所述电离源腔体（1）内部，所述微通道板（3）和阳极电极（8）沿所述真空紫外灯（2）光线出射方向依次设置，所述真空紫外灯（2）、微通道板（3）和阳极电极（8）同轴设置；

所述微通道板（3）为一个或多个，当所述微通道板（3）为多个时，多个所述微通道板（3）并排设置，所述微通道板（3）的横向截面呈圆形，所述微通道板（3）的直径为10~50 mm，所述微通道板（3）的通道孔径为5~50 μm；所述阳极电极（8）的横向截面呈圆形，所述阳极电极（8）的直径为10~100 mm；所述微通道板（3）与阳极电极（8）之间的距离为20~100 mm；

所述微通道板（3）放置于屏蔽壳（13）内，所述屏蔽壳（13）顶部与提拉杆（12）的底部相连，所述提拉杆（12）的上部穿过所述电离源腔体（1）顶面并可沿所述提拉杆（12）的轴向移动，所述提拉杆（12）与所述电离源腔体（1）之间设置有真空密封圈（11）；

所述屏蔽壳（13）内还设置有环形的聚焦电极（17），当所述微通道板（3）为一个时，所述聚焦电极（17）设置于所述微通道板（3）的周向外围，当所述微通道板（3）为多个时，所述聚焦电极（17）设置于所述微通道板（3）之间；

所述推斥电极（9）和差分电极（7）分别位于所述微通道板（3）和阳极电极（8）两者之间所成空间的上方和下方，所述电离源腔体（1）的底面开设有开口，所述差分电极（7）匹配设置于所述开口上；所述推斥电极（9）和差分电极（7）均为平板结构，所述推斥电极（9）和差分电极（7）平行设置；所述推斥电极（9）中心设置有通孔，所述气体进样管（10）一端穿过所述电离源腔体（1）顶部，另一端穿过所述推斥电极（9）的中心通孔；所述差分电极（7）中心设置有圆形差分孔（15），所述差分孔（15）与所述推斥电极（9）的中心通孔同轴设置；

所述传输腔体（5）位于所述电离源腔体（1）下面、所述差分电极（7）的下方，所述电离源腔体（1）通过所述差分孔（15）与所述传输腔体（5）连通，所述传输腔体（5）的底面设置有出口（16），所述出口（16）位于所述差分孔（15）的下方；所述离子传输电极（6）由3片圆环电极（14）上下堆叠组成，所述圆环电极（14）之间通过绝缘层互相绝缘，所述圆环电极（14）以及所述圆环电极（14）和所述差分孔（15）同轴设置。

2.根据权利要求1所述的真空紫外灯质谱电离源，其特征在于：所述绝缘层为聚四氟乙烯片。

3.根据权利要求1所述的真空紫外灯质谱电离源，其特征在于：所述气体进样管（10）为金属毛细管或石英毛细管，所述气体进样管（10）为一根或多根；所述气体进样管（10）的长度为0.05~5m，所述气体进样管（10）的内径为25~500μm。

4.根据权利要求1所述的真空紫外灯质谱电离源，其特征在于：所述真空紫外灯（2）为气体放电灯光源、激光光源或同步辐射光源中的一种。

5.根据权利要求1所述的真空紫外灯质谱电离源，其特征在于：所述差分孔（15）直径为0.5~5mm，所述推斥电极（9）与差分电极（7）之间的距离为20~100mm。