[发明专利]一种原子氧积分通量测量方法及原子氧传感器

权利要求书

1.一种原子氧积分通量测量方法，采用电阻型原子氧传感器测量原子氧积分通量，其特征在于，所述原子氧传感器探头中，在基底上镀制两块一模一样的敏感膜，其中一块敏感膜作为待测元件，暴露于原子氧环境，与原子氧发生反应，另一块敏感膜上设置原子氧防护膜，作为参考元件，不与原子氧发生反应；在原子氧传感器电路板上设置两个阻值相同的定值电阻；电路板上的两个定值电阻以及探头上的待测元件、参考元件组成惠斯顿电桥；通过测量惠斯顿电桥的输出电压，得到原子氧积分通量。

2.如权利要求1所述的原子氧积分通量测量方法，其特征在于，所述原子氧积分通量F为：

F=h0δ(1-U-2U0U+2U0)]]>

其中，h₀为敏感膜的初始厚度，δ为原子氧对敏感膜的剥蚀率，与敏感膜的材料有关，U为惠斯顿电桥的输入电压；U₀为惠斯顿电桥的输出电压。

3.如权利要求1所述的原子氧积分通量测量方法，其特征在于，所述敏感膜为：银膜、锇膜或碳膜。

4.一种电阻型原子氧传感器，包括探头和电路板，所述探头由基底、电极和敏感膜组成，其特征在于，所述探头中，在基底上设有两块一模一样的敏感膜，其中一块敏感膜暴露于原子氧环境，另一块敏感膜上设置原子氧防护膜，不与原子氧发生反应；所述电路板中，在电路板上设置两个相同阻值的定值电阻；电路板上的两个定值电阻以及探头上的两块敏感膜组成惠斯顿电桥。

5.如权利要求4所述的电阻型原子氧传感器，其特征在于，所述敏感膜为：银膜、锇膜或碳膜。

6.如权利要求4所述的电阻型原子氧传感器，其特征在于，所述基底材料为氧化铝陶瓷，所述电极材料为金，所述敏感膜为碳膜。

7.如权利要求6所述的电阻型原子氧传感器，其特征在于，所述氧化铝陶瓷基底厚度为1mm，所述金电级厚度为100nm，所述碳膜厚度为1.4μm。