[发明专利]圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置及气相沉积炉

权利要求书

1.圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置，其特征在于：包括至少一对配合支撑工件（1）并驱动工件（1）绕其中心轴（X）自转的第一转盘（2）和第二转盘（3），工作时，所述第一转盘（2）和第二转盘（3）绕各自的中心轴（Y、Z）自转，并持续改变与工件的接触位置；所述第一转盘（2）和第二转盘（3）的形状相同，它们均包括至少一个内凹于它们的圆周面且宽度相同的卡槽（7），所述卡槽（7）包括具有深度差的浅槽区（71）和深槽区（72）；所述第一转盘（2）设置于与其原盘面垂直的主动轴（4）上，所述主动轴（4）可自转地架设于 支架（5）上，其一端连接驱动其自转的驱动机构（20）；所述驱动机构（20）包括与所述主动轴（4）连接的水冷传动轴（201），所述水冷传动轴（201）上共轴设置有从动轮（202），所述从动轮（202）通过同步带（203）连接传动轮（204），所述传动轮（204）通过行星减速机（205）连接电机（206）；所述第二转盘（3）设置于与所述主动轴（4）等高且平行的从动轴（6）上，所述从动轴（6）可自转地架设于所述支架（5）上。

2.根据权利要求1所述的圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置，其特征在于：所述第一转盘（2）和第二转盘（3）在与它们垂直的同一平面（A）上的投影部分或全部重合，工作时，所述第一转盘（2）和第二转盘（3）的自转方向相同且与工件的自转方向相反。

3.根据权利要求1所述的圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置，其特征在于：所述第一转盘（2）和第二转盘（3）为石墨转盘。

4.根据权利要求1所述的圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置，其特征在于：所述第一转盘（2）和第二转盘（3）的尺寸相同且等高设置。

5.根据权利要求1所述的圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置，其特征在于：所述水冷传动轴（201）包括圆周壁上设置有若干通孔的内水管（2011），所述内水管（2011）的一端连接旋转接头（2012），其另一端与用于连接主动轴（4）的轴堵（2013）保持间隙或连接，所述内水管（2011）的外周还套装有与其共轴的外套管（2014），所述外套管（2014）的一端与所述旋转接头（2012）密封连接，其另一端连接所述轴堵（2013），所述外套管（2014）的外周还套装有使其与旋转接头（2012）密封连接的晶转磁流体（2015），所述从动轮（202）套装在所述晶转磁流体（2015）的外周。

6.根据权利要求5所述的圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置，其特征在于：所述晶转磁流体（2015）远离所述旋转接头（2012）的一端连接有套装在所述外套管 （2014）上的波纹管密封组件（207）。

7.根据权利要求6所述的圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置，其特征在于：所述晶转磁流体（2015）的外周套装有圆形编码器（208）。

8.根据权利要求1-7任一所述的圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置，其特征在于：所述第一转盘（2）和第二转盘（3）为三对且等间隙设置。

9.圆盘类零件一次性全表面沉积用气相沉积炉，包括真空室（8），其特征在于：所述真空室（8）包括圆柱形的真空室主体（81）以及位于所述真空室主体（81）的两个圆形开口处的密封门（82），所述真空室主体（81）的外圆周面连接支架（9），所述气相沉积炉还包括权利要求 1-8任一所述的工件驱动装置（10）。

10.根据权利要求9所述的圆盘类零件一次性全表面沉积用气相沉积炉，其特征在于：所述第一转盘（2）和第二转盘（3）设置于所述真空室（8）内的保温箱（11）中，所述保温箱（11）为石墨毡箱体。