[发明专利]用于激光雷达的MEMS微镜二维扫描准直发射光学系统

权利要求书

1.一种用于激光雷达的MEMS微镜二维扫描准直发射光学系统，其特征在于，包括脉冲激光二极管(1)、消像散镜组(2)、光束变换镜组(3)、MEMS微镜(4)、像点位置补偿镜组(5)、准直物镜组(6)和MEMS微镜驱动电路(7)，脉冲激光二极管(1)发射的激光依次经过消像散镜组(2)和光束变换镜组(3)到达MEMS微镜(4)反射面，MEMS微镜(4)在MEMS微镜驱动电路(7)的控制下进行角度摆动形成激光扫描面，激光扫描面的光束再经过像点位置补偿镜组(5)和准直物镜组(6)实现准直出射。

2.如权利要求1所述的用于成像激光雷达的MEMS微镜二维扫描准直发射光学系统，其特征在于，消像散镜组(2)是柱面镜，其母线平行于激光束慢轴方向。

3.如权利要求1所述的一种用于成像激光雷达的MEMS微镜二维扫描准直发射光学系统，其特征在于，光束变换镜组(3)为消球差透镜组，经过消像散镜组(2)的光束源点位于光束变换镜组(3)的一倍焦距和两倍焦距之间。

4.如权利要求1所述的用于成像激光雷达的MEMS微镜二维扫描准直发射光学系统，其特征在于，MEMS微镜(4)在平衡位置时的法线与入射光轴方向夹角为45°。

5.如权利要求1所述的用于成像激光雷达的MEMS微镜二维扫描准直发射光学系统，其特征在于，像点位置补偿镜组(5)到MEMS扫描微镜(4)的距离为像点位置补偿镜组(5)的焦距。

6.如权利要求1所述的用于成像激光雷达的MEMS微镜二维扫描准直发射光学系统，其特征在于，经像点位置补偿镜组(5)修正后的像点平面与准直物镜组(6)的焦平面重合。