[发明专利]一种涂层螺纹塞规

权利要求书

1.一种涂层螺纹塞规，包括螺杆，所述螺杆的两端可拆卸设有螺纹规，其特征在于：所述螺纹规的表面由下至上依次设有TiAlN薄膜层、ZrCN薄膜层与CrSiAlN薄膜层；所述TiAlN薄膜层中Ti与Al的质量比1：1~3；

所述ZrCN薄膜层的制备方法如下：

（1）将镀有TiAlN薄膜层的螺纹规放置在溅射室内，采用高纯Zr靶、C靶，Zr靶接入直流电源，C靶接入射频电源，并通入气体Ar和反应气体N₂，同时抽真空，调节真空度为6×10^-4Pa，工作压强为0.5~0.6Pa，工作温度为330~350℃；

（2）预溅射1min后，开始溅射镀膜，镀膜厚度为0.0002~0.0003mm；

（3）停止溅射后，将参数调至初始值，待螺纹规进行冷却至室温。

2.根据权利要求1所述的一种涂层螺纹塞规，其特征在于所述TiAlN薄膜层的制备方法如下：

（1）利用砂纸对螺纹规进行打磨，随后采用研磨膏进行抛光，去除试样表面的锈蚀和氧化膜；

（2）然后将螺纹规依次在丙酮和无水乙醇中分别超声波清洗10min，除去表面的油污和残留的丙酮；

（3）将螺纹规烘干，并放进清洗室内，辉光清洗30~40min；

（4）经清洗后的螺纹规送到溅射室内，采用高纯Ti靶和Al靶，Ti靶接入直流电源，Al靶接入射频电源，并通入气体Ar和反应气体N₂，同时抽真空，调节真空度为6~6.5×10^-4Pa，工作压强为0.5~0.6Pa，工作温度为350~380℃；

（5）预溅射5min后，开始溅射镀膜，镀膜厚度为0.0006~0.0007mm；

（6）停止溅射后，将参数调至初始值，待螺纹规进行冷却至室温。

3.根据权利要求2所述的一种涂层螺纹塞规，其特征在于：步骤（4）中Ti靶溅射电流为0.2~0.25A。

4.根据权利要求2所述的一种涂层螺纹塞规，其特征在于：步骤（4）中Al靶功率为40~120W。

5.根据权利要求2所述的一种涂层螺纹塞规，其特征在于：步骤（4）中氮气流量为30~40sccm，氩气流量为10~20sccm。

6.根据权利要求1所述的一种涂层螺纹塞规，其特征在于所述CrSiAlN薄膜层的制备方法如下：

（1）将镀有ZrCN薄膜层的螺纹规放置在溅射室内，采用高纯Cr、Al、Si单靶共溅射，Cr、Si靶接入直流电源，Al靶接入射频电源，并通入气体Ar和反应气体N₂，同时抽真空，调节真空度为6×10^-4Pa，工作压强为0.5~0.6Pa，工作温度为320~330℃；

（2）溅射镀膜，直至镀膜厚度为0.0002~0.0003mm；

（3）停止溅射后，将参数调至初始值，待螺纹规进行冷却。