[发明专利]一次性全表面气相沉积支架、气相沉积炉及其沉积方法

权利要求书

1.一次性全表面气相沉积支架，其特征在于：包括共轴的第一支架（1）和第二支架（2），所述第一支架（1）上形成有至少一个第一支撑平面，所述第一支架（1）上具有指定组数的第一支撑点（11），每组第一支撑点（11）的顶端等高且形成多层具有高度 差的第一支撑平面，所述第二支架（2）上形成有与每个第一支撑平面匹配且共轴的第二支撑平面，所述第二支架（2）上设置有与每组第一支撑点（11）对应的第二支撑点（21），每组第二支撑点（21）的顶端等高且形成多层具有高度差的第二支撑平面，每组第二支撑点（21）与第一支撑点（11）错位分布；

第一状态下，每个所述第一支撑平面高于与其对应的第二支撑平面；

第二状态下，每个所述第一支撑平面低于与其对应的第二支撑平面。

2.根据权利要求1所述的一次性全表面气相沉积支架，其特征在于：每组第一支撑点（11）和第二支撑点（21）的数量为3个，且它们均分圆周。

3.根据权利要求1所述的一次性全表面气相沉积支架，其特征在于：所述第一支架（1）包括支撑板（12），所述支撑板（12）的中心位置开设有通孔，所述支撑板（12）的一面中心设置有与其垂直的中空转轴（13），其另一面设置有至少3根均分圆周且与其垂直的支杆（14），每根支杆（14）上设置有一组具有高度差且与其垂直的横杆（15），每根横杆（15）向所述支撑板（12）的中心方向延伸，每个所述横杆（15）上设置有一第一支撑点（11）；

所述第二支架（2）包括位于支撑板（12）上方的发散板（22），所述发散板（22）包括一组均分圆周的分片（221），每个分片（221）延伸到相邻支杆（14）之间的区域且其上设置有一立杆（23），每根立杆（23）上设置有与所述横杆（15）一一对应的连杆（24），每个连杆（24）上设置一第二支撑点（21），所述发散板（22）的背面设置有延伸到所述中空转轴（13）中的连接轴（25）。

4.根据权利要求1-3任一所述的一次性全表面气相沉积支架，其特征在于：所述第二支架（2）还连接驱动其上下移动的顶升机构。

5.根据权利要求4所述的一次性全表面气相沉积支架，其特征在于：所述顶升机构是丝杆升降装置。

6.根据权利要求5所述的一次性全表面气相沉积支架，其特征在于：所述第二支架（2）还连接驱动其绕其中心轴自转的第一驱动装置，所述第一驱动装置跟随所述第二支架（2）上下移动。

7.根据权利要求4所述的一次性全表面气相沉积支架，其特征在于：所述第一支架（1）连接驱动其绕其中心轴自转的第二驱动装置。

8.一次性全表面气相沉积炉，包括真空室（5），其特征在于：还包括权利要求1-7任一所述的一次性全表面气相沉积支架。

9.根据权利要求8所述的一次性全表面气相沉积炉，其特征在于：所述第一支架（1）的转轴和第二支架的连接轴（25）均延伸到所述真空室（5）外，并分别通过磁流体密封与所述真空室（5）可转动地连接。

10.根据权利要求8所述的一次性全表面气相沉积炉，其特征在于：所述第一支撑平面、第二支撑平面均位于石墨导流罩（6）中，所述石墨导流罩（6）的外周及底部设置有用于加热且缠绕有电阻丝的内衬石墨（7），所述内衬石墨（7）的外周包覆有保温层（8），所述保温层（8）是石墨毡层。

11.根据权利要求8所述的一次性全表面气相沉积炉，其特征在于：还包括侧面供气口，供气口均分真空室（5）的圆周面。