[发明专利]一种基于LC原理的柔性植入式眼压监测与实时供药的无线无源传感器

权利要求书

1.一种基于LC原理的柔性植入式眼压监测与实时供药的无线无源传感器，其特征在于：包括PDMS薄膜层，PDMS薄膜层上利用磁控溅射技术溅射金属金形成感应线圈，其中一侧的感应线圈上设有一层parylene保护层，另一侧的感应线圈上方设有电解腔，电解腔外侧设有PDMS空腔，PDMS薄膜层厚20μm；

所述的基于LC原理的柔性植入式眼压监测与实时供药的无线无源传感器的制备步骤如下：

1)匀胶与光刻：将PDMS预聚物与固化剂以10:1的比例混合均匀，以硅片为衬底材料，以500rmp/min的转速旋涂40s制备厚度为100μm的PDMS薄膜，然后在120℃环境加热1h固化，将AZ4620光刻胶低速500rmp/min旋涂15s，高速3000rmp/min旋涂15s，形成厚度为8μm的光刻胶，然后对其进行光刻；

2)溅射金属：利用O₂等离子处理，对光刻后的区域的PDMS进行表面改性处理，利用磁控溅射仪溅射金属，形成带有叉指电极的LC回路；

3)剥离：将溅射完成的回路置于丙酮中2h进行剥离；

4)气相沉积parylene：利用气相沉积法将parylene沉积在LC回路表面作为保护层；

5)等离子刻蚀叉指电极区：利用等离子刻蚀技术将叉指电极区域表面的parylene刻蚀，形成裸露的电极区；

6)增加粘附层：在未刻蚀parylene表面增加一层粘附层；

7)利用PDMS薄片制作模具：将4层厚度为400μm厚度的PDMS薄膜叠放在一起并抽真空20min形成模具，然后在模具边缘浇注PDMS并将其固化，完成模具的制备；

8)浇注熔融状的PEG：将PEG置于在85℃环境中，形成熔融状，将其浇注到制备好的模具中，冷却固化；

9)涂覆parylene薄膜：将模具移除，将parylene涂覆在固化的PEG上，然后将PEG溶解，得到褶皱腔，将褶皱腔与步骤6）中的粘附层连接形成电解腔，将制备好的电解腔与PDMS空腔键合最终形成。