[发明专利]多孔钛材料的制备方法

权利要求书

1.多孔钛材料的制备方法，其特征是：用包括镁和TiCl₄的原料，通过化学气相沉积法制备得到，所述的制备方法包括如下步骤：

a、分别制备镁蒸气和TiCl₄蒸气，获得的镁蒸气和TiCl₄蒸气分别用保护气体进行保护，备用；

b、预镀膜：同时向反应模具内通入TiCl₄蒸气和镁蒸气，对反应模具进行预镀膜；

c、材料沉积：同时向经过预镀膜的反应模具内通入TiCl₄蒸气和镁蒸气，得到沉积物；

d、烧结：将步骤c得到的沉积物取出，烧结，即得所述多孔钛材料；

或者包括如下步骤：

Ⅰ、制备镁蒸气，获得的镁蒸气用保护气体进行保护，备用；

Ⅱ、制备TiCl₄与合金元素氯化物的混合物蒸气，用保护气体进行保护，备用；

Ⅲ、预镀膜：同时向反应模具内通入混合物蒸气和镁蒸气，对反应模具进行预镀膜；

Ⅳ、材料沉积：同时向经过预镀膜的反应模具内通入混合物蒸气和镁蒸气，得到沉积物；

Ⅴ、烧结：将步骤Ⅳ得到的沉积物取出，烧结，即得所述多孔钛材料。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征是：所述的合金元素氯化物为AlCl₃、SiCl₄、NbCl₅或MoCl₅中一种或两种以上的混合物。

3.如权利要求1所述的制备方法，其特征是：所述镁蒸气于真空度20～50Pa，温度700～800℃获得。

4.如权利要求1所述的制备方法，其特征是：所述镁蒸气于真空度20Pa，温度750℃获得。

5.如权利要求1所述的制备方法，其特征是：所述保护气体为氩气或氦气。

6.如权利要求1所述的制备方法，其特征是：所述预镀膜的反应条件为：将反应模具加热至1020～1050℃，模具内真空度抽至100～1000Pa，TiCl₄蒸气或混合物蒸气的单小时加料量为所述多孔材料重量的1～10％，TiCl₄蒸气或混合物蒸气与镁蒸气的单小时加料量比为(2～3):1。

7.如权利要求1所述的制备方法，其特征是：所述预镀膜的反应条件为：将反应模具加热至1050℃，模具内真空度抽至100Pa，TiCl₄蒸气或混合物蒸气的单小时加料量为所述多孔材料重量的1.75～2％，TiCl₄蒸气或混合物蒸气与镁蒸气的单小时加料量比为7:3。

8.如权利要求1所述的制备方法，其特征是：所述材料沉积的反应条件为：反应模具加热至980～1020℃，模具内真空度为100～1000Pa，TiCl₄蒸气或混合物蒸气的单小时加料量为所述多孔材料重量的1～10％，TiCl₄蒸气或混合物蒸气与镁蒸气的单小时加料量比为(2～3):1。

9.如权利要求1所述的制备方法，其特征是：所述材料沉积的反应条件为：反应模具加热至980℃，模具内真空度为100Pa，TiCl₄蒸气或混合物蒸气的单小时加料量为所述多孔材料重量的1.75～2％，TiCl₄蒸气或混合物蒸气与镁蒸气的单小时加料量比为7:3。

10.如权利要求1所述的制备方法，其特征是：所述烧结条件为：烧结温度为900～1000℃，真空度为0.1～1Pa，烧结时间5～8h。

11.如权利要求1所述的制备方法，其特征是：所述烧结条件为：烧结温度为900℃，真空度为0.1Pa，烧结时间5h。