[发明专利]一种基于有机场效应管氨气传感器及其制备方法有效
申请号: | 201710762357.7 | 申请日: | 2017-08-30 |
公开(公告)号: | CN107565019B | 公开(公告)日: | 2019-11-29 |
发明(设计)人: | 于军胜;庄昕明;范惠东;侯思辉 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | H01L51/05 | 分类号: | H01L51/05;H01L51/40;G01N27/414 |
代理公司: | 51230 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李小金;王正楠<国际申请>=<国际公布> |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 有机 场效应 氨气 传感器 及其 制备 方法 | ||
1.一种基于有机场效应晶体管氨气传感器,包括从下至上依次设置的衬底层、栅电极、介电层和有机半导体层,所述有机半导体层的上端连接有源电极和漏电极,其特征在于,所述介电层的材料为蛋清蛋白;所述有机半导体层由加入有质量比为5%-15%的蛋清蛋白的可溶性有机半导体材料制作而成。
2.根据权利要求1所述的基于有机场效应晶体管氨气传感器,其特征在于,所述蛋清蛋白为鸡蛋清、鸭蛋清、鹅蛋清或鸵鸟蛋清。
3.根据权利要求1所述的基于有机场效应晶体管氨气传感器,其特征在于,所述可溶性有机半导体材料为聚3-己基噻吩、Tips-并五苯、含硅氧烷的聚异戊二烯衍生物或PBTTT系列的中一种。
4.根据权利要求1所述的基于有机场效应晶体管氨气传感器,其特征在于,所述有机半导体层的厚度为25~100nm。
5.根据权利要求1所述的基于有机场效应晶体管氨气传感器,其特征在于,所述栅电极、源电极和漏电极材料为金属纳米线,金属纳米线为铁纳米线、铜纳米线、银纳米线、金纳米线、铝纳米线、镍纳米线、钴纳米线、锰纳米线、镉纳米线、铟纳米线、锡纳米线、钨纳米线和铂纳米线中的一种。
6.一种基于有机场效应晶体管氨体传感器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
①利用洗涤剂、丙酮溶液、去离子水和异丙醇溶液对衬底进行清洗,清洗后用氮气吹干;
②在衬底层表面制备栅电极;
③在栅电极上面制备介电层;
④将蛋清蛋白与可溶性有机半导体材料进行按比例超声混合;用混合后的溶液在介电层上制备有机半导体层;
⑤在有机半导体层上制备源电极和漏电极。
7.根据权利要求6所述的基于有机场效应晶体管氨体传感器的制备方法,其特征在于,步骤③中,介电层通过旋涂、辊涂、滴膜、压印、印刷或喷涂中的一种方法进行制备。
8.根据权利要求6所述的基于有机场效应晶体管氨体传感器的制备方法,其特征在于,步骤④中,所述有机半导体层是通过动甩旋涂、辊涂、滴膜、压印、印刷或喷涂中的一种方法进行制备。
9.根据权利要求6所述的基于有机场效应晶体管氨体传感器的制备方法,其特征在于,步骤②和⑤中,栅电极、源电极、漏电极是通过真空热蒸镀、磁控溅射、等离子体增强的化学气相沉积、丝网印刷、打印或旋涂中的一种方法进行制备。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择