[发明专利]一种基于有机场效应管氨气传感器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201710762357.7 申请日: 2017-08-30
公开(公告)号: CN107565019B 公开(公告)日: 2019-11-29
发明(设计)人: 于军胜;庄昕明;范惠东;侯思辉 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: H01L51/05 分类号: H01L51/05;H01L51/40;G01N27/414
代理公司: 51230 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 代理人: 李小金;王正楠<国际申请>=<国际公布>
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 有机 场效应 氨气 传感器 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种基于有机场效应晶体管氨气传感器,包括从下至上依次设置的衬底层、栅电极、介电层和有机半导体层,所述有机半导体层的上端连接有源电极和漏电极,其特征在于,所述介电层的材料为蛋清蛋白;所述有机半导体层由加入有质量比为5%-15%的蛋清蛋白的可溶性有机半导体材料制作而成。

2.根据权利要求1所述的基于有机场效应晶体管氨气传感器,其特征在于,所述蛋清蛋白为鸡蛋清、鸭蛋清、鹅蛋清或鸵鸟蛋清。

3.根据权利要求1所述的基于有机场效应晶体管氨气传感器,其特征在于,所述可溶性有机半导体材料为聚3-己基噻吩、Tips-并五苯、含硅氧烷的聚异戊二烯衍生物或PBTTT系列的中一种。

4.根据权利要求1所述的基于有机场效应晶体管氨气传感器,其特征在于,所述有机半导体层的厚度为25~100nm。

5.根据权利要求1所述的基于有机场效应晶体管氨气传感器,其特征在于,所述栅电极、源电极和漏电极材料为金属纳米线,金属纳米线为铁纳米线、铜纳米线、银纳米线、金纳米线、铝纳米线、镍纳米线、钴纳米线、锰纳米线、镉纳米线、铟纳米线、锡纳米线、钨纳米线和铂纳米线中的一种。

6.一种基于有机场效应晶体管氨体传感器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

①利用洗涤剂、丙酮溶液、去离子水和异丙醇溶液对衬底进行清洗,清洗后用氮气吹干;

②在衬底层表面制备栅电极;

③在栅电极上面制备介电层;

④将蛋清蛋白与可溶性有机半导体材料进行按比例超声混合;用混合后的溶液在介电层上制备有机半导体层;

⑤在有机半导体层上制备源电极和漏电极。

7.根据权利要求6所述的基于有机场效应晶体管氨体传感器的制备方法,其特征在于,步骤③中,介电层通过旋涂、辊涂、滴膜、压印、印刷或喷涂中的一种方法进行制备。

8.根据权利要求6所述的基于有机场效应晶体管氨体传感器的制备方法,其特征在于,步骤④中,所述有机半导体层是通过动甩旋涂、辊涂、滴膜、压印、印刷或喷涂中的一种方法进行制备。

9.根据权利要求6所述的基于有机场效应晶体管氨体传感器的制备方法,其特征在于,步骤②和⑤中,栅电极、源电极、漏电极是通过真空热蒸镀、磁控溅射、等离子体增强的化学气相沉积、丝网印刷、打印或旋涂中的一种方法进行制备。

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