[发明专利]仿壁虎末端带电定向碳纳米管干黏附阵列的制备方法

权利要求书

1.一种仿壁虎末端带电定向碳纳米管干黏附阵列的制备方法，其特征在于，所述定向碳纳米管干黏附阵列是通过在基底为硅片上化学气相沉积生长制备获得的，通过等离子体处理使定向碳纳米管阵列末端枝接正电荷基团或负电荷基团，获得末端带电的仿壁虎干黏附结构，在仿壁虎刚毛末端和接触面之间产生偶极子；

所述等离子体处理包括射频等离子体处理或微波等离子体处理；

所述正电荷基团为氨基；负电荷基团为羧基或氟基中的一种。

2.根据权利要求1所述仿壁虎末端带电定向碳纳米管干黏附阵列的制备方法，其特征在于，通过等离子体处理使定向碳纳米管阵列末端枝接羧基，其具体步骤如下：

以CO₂作为工作气体，工作气压30 Pa，放电功率30 W，气体流速30 sccm，射频等离子处理定向碳纳米管阵列,处理2～10 min；

或者，以CO₂作为工作气体，工作气压0.5 Torr，放电功率200 W，气体流速25 sccm -100 sccm，微波等离子处理定向碳纳米管阵列,处理5～15 min。

3.根据权利要求1所述仿壁虎末端带电定向碳纳米管干黏附阵列的制备方法，其特征在于，通过等离子体处理使定向碳纳米管阵列末端枝接氟基，其具体步骤为：

以CF₄作为工作气体，将定向碳纳米管阵列放置于射频等离子装置的反应室，抽真空至真空度为100 mtorr，放电功率30 W，气体流速250 sccm，反应时间为0.5～3 min。

4.根据权利要求1所述仿壁虎末端带电定向碳纳米管干黏附阵列的制备方法，其特征在于，通过等离子体处理使定向碳纳米管阵列末端枝接氨基，其具体步骤为：

以NH₃作为工作气体，射频电源，通入NH₃和Ar的混合气体，气体流速3 L/min，放电功率80 W，处理时间1～5 min；

或者，以NH₃作为工作气体，300 ℃，气体流速90 sccm，工作气压0.3 Torr，微波功率500W，偏置电压为-50 V，微波等离子处理定向碳纳米管阵列，处理时间5～15 min；

或者，微波功率为500 W，先以Ar为工作气体预处理5 min，气体流速70 sccm；然后以NH₃和Ar混合气体为工作气体，气体流速分别为90 sccm和70 sccm，偏置电压为-50 V，微波等离子处理定向碳纳米管阵列,处理5～15 min。

5.根据权利要求1-4之一所述仿壁虎末端带电定向碳纳米管干黏附阵列的制备方法，其特征在于，所述碳纳米管干黏附阵列基底为硅片，碳纳米管直径为5～30 nm，高度为5～300μm。