[发明专利]一种纳米压印机限位机构在审
申请号: | 201710755747.1 | 申请日: | 2017-08-29 |
公开(公告)号: | CN107357132A | 公开(公告)日: | 2017-11-17 |
发明(设计)人: | 赵敏洁;杨彦涛 | 申请(专利权)人: | 无锡英普林纳米科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人: | 成立珍 |
地址: | 214192 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 纳米 压印 限位 机构 | ||
1.一种纳米压印机限位机构,包括支撑平台(1)、下压平台(3)、模型压头(4)和液压升降缸(9),其特征在于:所述支撑平台(1)上固定设置有限位平台(2),所述限位平台(2)为空心结构,所述限位平台(2)上分别设置有横向的第一开口(21)和纵向的第二开口(22),所述限位平台(2)内设置有伸缩电机(7),所述伸缩电机(7)具备四个伸缩轴(8),所述第一开口(21)和第二开口(22)的两端均设置有限位板(6),所述四个限位板(6)通过连接条(61)穿过第一开口(21)和第二开口(22)分别连接在四个伸缩轴(8)上。
2.根据权利要求1所述的一种纳米压印机限位机构,其特征在于:所述第一开口(21)和第二开口(22)的长度分别等于限位平台(2)的长度和宽度。
3.根据权利要求1或2所述的一种纳米压印机限位机构,其特征在于:所述第一开口(21)和第二开口(22)的重合区域位于限位平台(2)的中心位置。
4.根据权利要求1所述的一种纳米压印机限位机构,其特征在于:所述连接条(61)连接在限位板(6)底部的中心位置。
5.根据权利要求1所述的一种纳米压印机限位机构,其特征在于:所述模型压头(4)位于下压平台(3)下端的中心位置。
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