[发明专利]一种新型激光振镜镜片、激光振镜以及镀膜方法

说明书

技术领域

本发明涉及激光振镜技术领域，尤其是涉及一种新型激光振镜镜片、激光振镜以及镀膜方法。

背景技术

目前，振镜镜片是扫描振镜在对激光的扫描控制应用过程中，通过X和Y反射镜片的摆动，将激光在工作平面内实现高速精确定位。传统激光振镜镜片满足工作波长的高反射(反射率大于99.4％)，指定指示光反射(反射率大于80％)，其缺点主要为几点：工作波长只有一种；指示光波长受限制，不具备通用性；振镜片导热性较差，主要基片材质为BK7(光学玻璃)；振镜片重量较重，主要由于基片材质BK7的密度造成。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

发明内容

本发明的目的在于提供一种新型激光振镜镜片、激光振镜以及镀膜方法，以解决现有技术中存在的工作波长只有一种、指示光波长受限制，不具备通用性的技术问题。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

第一方面，本发明提供一种新型激光振镜镜片，其包括：自下而上依次设置的基底膜层、中间膜层和高反膜层；所述中间膜层包括：自下而上依次设置的第一连接膜层、Al膜和第二连接膜层。

作为一种进一步的技术方案，所述第一连接膜层包括但不限于：Al₂O₃膜。

作为一种进一步的技术方案，所述第二连接膜层包括但不限于：Al₂O₃膜。

作为一种进一步的技术方案，所述基底膜层包括但不限于：Si基片。

作为一种进一步的技术方案，所述高反膜层包括：自下而上交替设置的L型膜、H型膜，其中，所述L型膜采用低折射率材料制成，所述H型膜采用高折射率材料制成。

作为一种进一步的技术方案，所述L型膜采用的低折射率材料包括但不限于：SiO₂。

作为一种进一步的技术方案，所述H型膜采用的高折射率材料包括但不限于：HfO₂。

第二方面，本发明还提供一种激光振镜，其包括所述的新型激光振镜镜片。该新型激光振镜镜片包括：自下而上依次设置的基底膜层、中间膜层和高反膜层；所述中间膜层包括：自下而上依次设置的第一连接膜层、Al膜和第二连接膜层。

第三方面，本发明还提供一种用于制作所述新型激光振镜镜片的镀膜方法，其包括：

采用真空蒸发镀膜技术，在基底膜层采用电子束蒸发的方式沉积第一连接膜层，在第一连接膜层上采用电阻加热蒸发的方式沉积Al膜，在Al膜上采用电子束蒸发的方式沉积第二连接膜层，在第二连接膜层上采用电子束蒸发的方式沉积高反膜层。

作为一种进一步的技术方案，该镀膜方法还包括：采用真空蒸发镀膜技术，并在镀膜过程中全程使用离子源进行沉积辅助。

采用上述技术方案，本发明具有如下有益效果：

1)、该新型激光振镜镜片可以满足400-700nm任意波段指示光需求，使镜片更具有通用性；

2)、该新型激光振镜镜片可以实现最少满足两个成倍频关系的激光波长，除了635nm红光指示反射以外，能同时满足532nm和1064nm两个波段99.8％以上的高反射要求；

3)、该新型激光振镜镜片进一步采用Si基片作为基底膜层，具有优良的导热性，可以在同样规格的镜片基础上，大幅提升镜片单位面积的激光反射功率，承受更大功率的激光器；

4)、该新型激光振镜镜片进一步采用Si基片作为基底膜层，相比常规的BK7和石英镜片而言，可以大幅减轻激光振镜反射镜片的重量，从而提高振镜的响应速度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的新型激光振镜镜片的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的镀膜工艺的流程图。

附图标记：

1-基底膜层；2-第一连接膜层；3-Al膜；

4-第二连接膜层；5-高反膜层。

具体实施方式