[发明专利]一种稳固的质谱离子源及其安装方法在审
申请号: | 201710749987.0 | 申请日: | 2017-08-28 |
公开(公告)号: | CN107464737A | 公开(公告)日: | 2017-12-12 |
发明(设计)人: | 张龙飞;朱立平;唐彬;罗宗昌;韩方源;梁沁沁;张洁明 | 申请(专利权)人: | 广西电网有限责任公司电力科学研究院 |
主分类号: | H01J49/10 | 分类号: | H01J49/10;H01J49/26 |
代理公司: | 南宁东智知识产权代理事务所(特殊普通合伙)45117 | 代理人: | 戴燕桃,巢雄辉 |
地址: | 530023 广西*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 稳固 离子源 及其 安装 方法 | ||
1.一种稳固的质谱离子源,其特征在于,包括有端帽(1)、放电灯保护罩(2)、放电线圈(3)、射频放电灯(4)和固定底座(6),所述射频放电灯(4)的底部插接于所述固定底座(6)上,所述放电线圈(3)套设在所述射频放电灯(4)外面,所述射频放电灯(4)的中部和顶部设置于所述放电灯保护罩(2)内,所述端帽(1)设置于所述放电灯保护罩(2)的上端,所述放电灯保护罩(2)的下端的内沿具有收口结构(8),所述放电线圈(3)的一端与所述收口结构(8)相接,另一端与所述端帽(1)相接。
2.根据权利要求1所述的稳固的质谱离子源,其特征在于,所述固定底座(6)在插接有所述射频放电灯(4)的一端面上的内沿处设置有倾斜面,所述射频放电灯(4)的底部套设有第一O型圈(7),所述第一O型圈(7)位于所述固定底座(6)在插接有所述射频放电灯(4)的一端面上的内沿处的倾斜面上,所述固定底座(6)与放电灯保护罩(2)之间设置有平板(5),所述平板(5)套设在所述射频放电灯(4)的底部,所述平板(5)一端面与所述放电灯保护罩(2)相接,另一端面与所述第一O型圈(7)或者固定底座(6)相接。
3.根据权利要求1所述的稳固的质谱离子源,其特征在于,所述端帽(1)为中空带有凸台的圆柱形结构,所述端帽(1)的凸台外周设有外螺纹,所述放电灯保护罩(2)上部的内沿上设有外螺纹,所述端帽(1)的凸台外周的外螺纹与所述放电灯保护罩(2)上部的内沿上的外螺纹相匹配,所述端帽(1)的凸台位于所述放电灯保护罩(2)上部的内沿上。
4.根据权利要求3所述的稳固的质谱离子源,其特征在于,所述放电灯保护罩(2)为中空带有凸台的圆柱形结构,所述放电灯保护罩(2)的凸台外周设有外螺纹用以与质谱腔体螺纹连接。
5.根据权利要求1所述的稳固的质谱离子源,其特征在于,所述固定底座(6)的底部开设有与所述固定底座(6)同轴的圆环形凹槽,所述凹槽内设置有第二O型圈(9),所述第二O型圈(9)部分突出于所述凹槽。
6.根据权利要求2所述的稳固的质谱离子源,其特征在于,所述端帽(1)、放电灯保护罩(2)、放电线圈(3)、射频放电灯(4)、平板(5)、第一O型圈(7)同轴设置。
7.一种固定安装稳固的质谱离子源的方法,其特征在于,包括以下步骤:
S01:将固定底座(6)置于质谱腔体中,然后将射频放电灯(4)放置于所述固定底座6内;
S02:将放电灯保护罩(2)套装在所述射频放电灯(4)外面,所述放电灯保护罩(2)通过插接的方式或者螺纹连接的方式与质谱腔体相连接;
S03:将放电线圈(3)套装在所述射频放电灯(4)外面并使所述放电线圈(3)内侧与所述射频放电灯(4)外侧相贴合,将端帽(1)通过插接的方式或者螺纹连接的方式安装固定于所述放电灯保护罩(2)顶端,并使得所述放电线圈(3)的一端与所述放电灯保护罩(2)底端的收口结构(8)相接,另一端与所述端帽(1)相接。
8.根据权利要求7所述的固定安装稳固的质谱离子源的方法,其特征在于,在步骤S01中,在将所述射频放电灯(4)放置于所述固定底座(6)内之前,将第一O型圈(7)套设在所述射频放电灯(4)的底部,其中所述固定底座(6)在插接有所述射频放电灯(4)的一端面上的内沿处设置有倾斜面;在所述将射频放电灯(4)放置于所述固定底座(6)内时,所述第一O型圈(7)放置于所述固定底座(6)在插接有所述射频放电灯(4)的一端面上的内沿处的倾斜面上并与斜面相切;将所述射频放电灯(4)放置于所述固定底座(6)内后,将平板(5)套设在所述射频放电灯(4)外部并与所述第一O型圈(7)相接。
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