[发明专利]化学品自动供给装置

权利要求书

1.一种化学品自动供给装置，其特征在于，包括：

搁置部，搁置化学品软管(500)，所述化学品软管连接到化学品罐上，并连接化学品罐与化学品储罐，从一侧向另一侧供给化学品；

传送单元(160)，传送单元(160)由第一台架(161)、第一台架驱动部(162)、第二台架(163)、第二台架驱动部(164)构成，其中，第一台架(161)上部加载所述搁置部(150)，在所述化学品软管(500)搁置到所述搁置部(150)时，将所述化学品软管(500)沿前后方向传送而使所述化学品软管(500)与化学品储罐侧连接；第一台架驱动部(162)把所述搁置部(150)在所述第一台架(161)上前后方向传送；第二台架(163)上部搁置所述第一台架(161)，并支撑所述第一台架(161)以使其沿前后方向传送；第二台架驱动部(164)把所述第一台架(161)及搁置部(150)在所述第二台架(163)上沿前后方向传送；

控制部，控制所述第一台架驱动部(162)和第二台架驱动部(164)的驱动，

当所述第一台架驱动部(162)驱动化学品用公接头(510)，与位于所述化学品储罐侧的化学品用母接头(210)结合时，其中化学品用公接头(510)连接在所述化学品软管(500)端部，所述控制部通过控制使所述第一台架驱动部(162)的速度低于所述第二台架驱动部(164)的速度。

2.一种化学品自动供给装置，其特征在于，包括：

搁置部，搁置化学品软管(500)，所述化学品软管连接到化学品罐上，并连接化学品罐与化学品储罐，从一侧向另一侧供给化学品；

传送单元(160)，传送单元(160)由第一台架(161)、第一台架驱动部(162)、第二台架(163)、第二台架驱动部(164)构成，其中，第一台架(161)上部加载所述搁置部(150)，在所述化学品软管(500)搁置到所述搁置部(150)时，将所述化学品软管(500)沿前后方向传送而使所述化学品软管(500)与化学品储罐侧连接；第一台架驱动部(162)把所述搁置部(150)在所述第一台架(161)上前后方向传送；第二台架(163)上部搁置所述第一台架(161)，并支撑所述第一台架(161)以使其沿前后方向传送；第二台架驱动部(164)把所述第一台架(161)及搁置部(150)在所述第二台架(163)上沿前后方向传送；

控制部，控制所述第一台架驱动部(162)和第二台架驱动部(164)的驱动，

当所述第二台架驱动部(164)驱动化学品用公接头(510)，与位于所述化学品储罐侧的化学品用母接头(210)结合时，其中化学品用公接头(510)连接在所述化学品软管(500)端部，所述控制部通过控制使所述第二台架驱动部(164)的速度低于所述第一台架驱动部(162)的速度。

3.根据权利要求1或2的化学品自动供给装置，其特征在于，

所述搁置部(150)由搁置化学品软管(500)的化学品用搁置部(150-1)及搁置氮气软管(600)的氮气用搁置部(150-2)构成；

所述第一台架(161)由上部设置化学品用搁置部(150-1)的第一化学品用台架(161-1)及上部设置氮气用搁置部(150-2)的第一氮气用台架(161-2)构成；

所述第一台架驱动部(162)由把所述化学品搁置部前后方向传送的第一化学品用驱动部(162-1)及把所述氮气用搁置部(150-2)前后方向传送的第一氮气用驱动部(162-2)构成。

4.根据权利要求3的化学品自动供给装置，其特征在于，

还具备中间台架(165)，两侧上部固定所述第一化学品用台架(161-1)及第一氮气用台架(161-2)，并由所述第二台架驱动部(164)驱动，在所述第二台架(163)上沿前后方向传送。