[发明专利]OLED蒸发源、蒸镀设备及OLED面板像素阵列的制备方法有效
| 申请号: | 201710716443.4 | 申请日: | 2017-08-21 |
| 公开(公告)号: | CN107425144B | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
| 发明(设计)人: | 杨玲;祝晓钊;王波;梁舰;廖良生;冯敏强 | 申请(专利权)人: | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;C23C14/24 |
| 代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 王宁宁 |
| 地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | oled 蒸发 设备 面板 像素 阵列 制备 方法 | ||
本发明实施例提供一种OLED蒸发源、蒸镀设备及OLED面板像素阵列的制备方法。其中,该所述OLED蒸发源包括基板和多个热蒸发点源,所述基板上开设有与所述多个热蒸发点源对应的多个凹槽子单元,每个凹槽子单元包括至少两个子凹槽,每个热蒸发点源包括与所述至少两个子凹槽对应的至少两个子加热体,所述子加热体设置于所述子凹槽。本发明通过对OLED蒸发源的巧妙设计,能够有效提高蒸镀后的膜层的均匀性和蒸镀材料的利用率,简化蒸镀时的工艺流程。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,具体而言,涉及一种OLED蒸发源、蒸镀设备及OLED面板像素阵列的制备方法。
背景技术
OLED(Organic Light Emitting Diode,有机发光二极管)显示面板包括阵列排布的多个子像素单元,每一个子像素单元包括阳极、发光层和阴极,其中,发光层采用有机电致发光材料形成,目前,主要采用金属掩膜以及蒸镀工艺制作各子像素单元,但是,现有的两种蒸镀方式均存在局限性,一种是线性蒸发源,通过该线性蒸发源制得的膜厚在线源方向不均匀,使得显示面板的显示效果较差,且制作过程需要多个MASK,导致制作流程复杂,成本较高。另一种是点蒸发源,目前大部分点蒸发源仅适用于小型蒸镀设备,制得的膜厚同样不均匀。
发明内容
有鉴于此,本发明提供一种OLED蒸发源、蒸镀设备及OLED面板像素阵列的制备方法,其中,通过对OLED蒸发源的巧妙设计,能够用于多个有机电致发光材料的掺杂、蒸镀,使制得的膜厚更加均匀,且蒸镀工艺简单,制作成本低。
本发明较佳实施例提供一种OLED蒸发源,所述OLED蒸发源包括基板和多个热蒸发点源,所述基板上开设有与所述多个热蒸发点源对应的多个凹槽子单元,每个凹槽子单元包括至少两个子凹槽,每个热蒸发点源包括与所述至少两个子凹槽对应的至少两个子加热体,所述子加热体设置于所述子凹槽。
在本发明较佳实施例的选择中,所述每个凹槽子单元包括第一子凹槽和第二子凹槽,所述第二子凹槽围设于所述第一子凹槽,使得所述凹槽子单元呈环形结构设置。
在本发明较佳实施例的选择中,所述OLED蒸发源还包括隔热墙,所述隔热墙设置于所述多个热蒸发点源之间及/或所述至少两个子加热体之间。
在本发明较佳实施例的选择中,每个所述子加热体包括加热片和加热舟,所述加热片设置于所述子凹槽,所述加热舟设置于所述加热片远离所述子凹槽的槽底的一侧。
在本发明较佳实施例的选择中,所述至少两个子加热体包括一个共用的加热舟,且每个所述子加热体还包括加热片;
其中,所述加热舟开设有与所述至少两个子凹槽对应的至少两个容置槽,所述至少两个加热片设置于所述至少两个子凹槽,且一一对应,所述加热舟设置于所述加热片远离所述子凹槽的槽底的一侧。
在本发明较佳实施例的选择中,每个所述加热体还包括加热电极,所述加热电极设置于所述基板并与所述加热片电连接。
在本发明较佳实施例的选择中,所述OLED蒸发源还包括蒸发罩,所述蒸发罩上设置有与所述多个热蒸发点源对应的多个两端开口的罩体,所述蒸发罩通过所述罩体盖设于所述热蒸发点源,且所述罩体与所述热蒸发点源一一对应。
在本发明较佳实施例的选择中,所述罩体远离所述热蒸发点源一端的开口面积大于其靠近该热蒸发点源一端的开口面积。
本发明较佳实施例还提供一种OLED面板的像素阵列的制备方法,利用上述的OLED蒸发源,所述方法包括:
S1:根据需要制备的OLED显示器的像素结构,将预设参数的有机蒸镀材料添加在所述OLED蒸发源中各热蒸发点源中的各子加热体上;
S2:将OLED显示器的基板与所述OLED蒸发源的基板进行对位贴合并固定;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择





