[发明专利]一种薄膜应力测试用衬底夹具

说明书

本发明提供了一种薄膜应力测试用衬底夹具，属于夹具技术领域包括基座和夹片；基座上设置有多个装夹部，靠近每个装夹部的两端分别设置有装夹孔；夹片上设置有连接孔，连接件依次穿过连接孔和装夹孔，以使待镀膜样品固定在装夹部上，且基座的一端还设置有悬挂孔。本方案中，装夹部可以是平槽，连接件依次穿过连接孔和装夹孔，以使待镀膜样品固定在平槽上，保证镀膜面尽量少的受到治具影响的同时，又保证样品背面被完全遮挡，解决了现有技术中镀膜时采用的样品(长条状)只能有一面进行镀膜，另一面必须进行完全遮挡，给操作带来不必要的麻烦，同时镀膜面受到夹具的影响较大，使镀膜的效果差的技术问题。

技术领域

本发明涉及夹具技术领域，尤其是涉及一种薄膜应力测试用衬底夹具。

背景技术

目前，薄膜材料广泛应用于微电子、半导体、光伏能源、航空航天、汽车、机械加工等诸多领域，其重要性日益凸显；国务院《“十二五”国家战略性新兴产业发展规划》明确提出，要对“信息技术、高端装备制造、新能源、新材料、新能源汽车”等重点领域进行优先部署和重点突破(国发〔2012〕28号)；而大多数重点发展领域都与薄膜材料技术息息相关，因此，大力开展薄膜材料的相关研究，对促进国家重点产业的发展具有十分重要的意义。

薄膜材料的界面结合强度和抗热疲劳性能与薄膜应力密切相关；超硬耐磨涂层材料往往具有很强的共价键特性，采用化学气相沉积或物理气相沉积工艺制备的薄膜一般存在几个GPa，甚至高达十几GPa的残余应力，严重时会导致薄膜剥落，影响其使用性能；因此在薄膜开发制备时要对其应力进行测试，反馈予薄膜开发制备过程以得到所需应力的薄膜材料。

目前主要的应力测试仪普遍采用光杠杆原理测试，测试原理是通过收集激光在薄膜表面运动，以及薄膜反射出的激光在接收器上位置的变化，来测量薄膜沉积前后基片曲率的变化，然后应用Stoney公式来计算薄膜应力。

使用光杠杆法测试薄膜应力的方法，镀膜时采用的样品(长条状)只能有一面进行镀膜，另一面必须进行完全遮挡，给操作带来不必要的麻烦，同时镀膜面受到夹具的影响较大，使镀膜的效果差。

发明内容

本发明的一个目的在于提供一种薄膜应力测试用衬底夹具，以解决现有技术中存在的镀膜时采用的样品(长条状)只能有一面进行镀膜，另一面必须进行完全遮挡，给操作带来不必要的麻烦，同时镀膜面受到夹具的影响较大，使镀膜的效果差的技术问题。

为了实现上述目的，本发明提供了以下技术方案；

本发明第提供了一种薄膜应力测试用衬底夹具，包括基座和夹片；

所述基座上设置有多个装夹部，靠近每个所述装夹部的两端分别设置有装夹孔；

所述夹片上设置有连接孔，连接件依次穿过所述连接孔和装夹孔，以使待镀膜样品固定在所述装夹部上，且所述基座的一端还设置有悬挂孔。

本发明提供的薄膜应力测试用衬底夹具，基座上设置有多个装夹部，靠近每个装夹部的两端分别设置有装夹孔，夹片上设置有连接孔，连接件依次穿过连接孔和装夹孔，以使待镀膜样品固定在装夹部上，保证镀膜面尽量少的受到治具影响的同时，又保证样品背面被完全遮挡，解决了现有技术中镀膜时采用的样品(长条状)只能有一面进行镀膜，另一面必须进行完全遮挡，给操作带来不必要的麻烦，同时镀膜面受到夹具的影响较大，使镀膜的效果差的技术问题。

在上述技术方案中，进一步的，所述装夹部为平槽，且所述平槽的形状与待镀膜样品的形状相匹配。

在上述任一技术方案中，进一步的，所述平槽的深度小于待镀膜样品的厚度。

在上述任一技术方案中，进一步的，所述夹片的长度小于等于所述基座的宽度。

在上述任一技术方案中，进一步的，通过所述夹片的宽度和所述装夹孔与装夹部的距离来控制待镀膜样品被所述夹片遮挡的竖直方向的距离范围。