[发明专利]一种压电驱动式三级位移放大微夹持器

权利要求书

1.一种压电驱动式三级位移放大微夹持器，其特征在于，包括基体I，压电陶瓷驱动器，桥型放大机构，基体II，两个杠杆机构I，两个杠杆机构II和预紧螺栓；

所述压电陶瓷驱动器通过所述预紧螺栓安装在所述桥型放大机构中，所述桥型放大机构包括位于所述压电陶瓷驱动器两侧且对称设置的两个桥型柔性铰链机构和连接两个桥型柔性铰链机构的横梁，所述桥型柔性铰链机构各由柔性铰链和三个连杆组成，所述桥型放大机构下侧与基体I连接；所述杠杆机构I由柔性铰链和一个刚性杆组成，两个所述杠杆机构I分别通过下侧的柔性铰链与所述桥型放大机构的左右两侧连接，两个所述杠杆机构I中部的柔性铰链与基体I连接；

所述杠杆机构II由柔性铰链、一个刚性杆和钳口组成，两个所述杠杆机构II分别与同侧的杠杆机构I通过柔性铰链连接，所述杠杆机构II的下部通过柔性铰链与基体II连接；所述基体I上设有四个安装孔，所述基体II上设有一个安装孔。

2.根据权利要求1所述一种压电驱动式三级位移放大微夹持器，其特征在于，微夹持器为沿所述压电陶瓷驱动器纵向轴线左右对称的结构，用于实现热误差补偿，减小由于微夹持器受热不均引起的误差。

3.根据权利要求1所述一种压电驱动式三级位移放大微夹持器，其特征在于，所述基体I、基体II，桥型放大机构、杠杆机构I和杠杆机构II为一体成型的结构。

4.根据权利要求1所述一种压电驱动式三级位移放大微夹持器，其特征在于，所述桥型柔性铰链机构、杠杆机构I和杠杆机构II分别设有四个、三个和两个柔性铰链。

5.根据权利要求1或4所述一种压电驱动式三级位移放大微夹持器，其特征在于，两个所述杠杆机构II分别与同侧的杠杆机构I通过两个柔性铰链连接。