[发明专利]除雾装置、湿式处理设备及除雾方法有效
申请号: | 201710711153.0 | 申请日: | 2017-08-15 |
公开(公告)号: | CN107433103B | 公开(公告)日: | 2019-11-26 |
发明(设计)人: | 李启明 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | B01D53/02 | 分类号: | B01D53/02;B01D53/06;B01D53/26;B01D46/00 |
代理公司: | 44280 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 钟子敏<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 吸附网 除雾装置 空心管路 除雾 液滴 表面形成 除雾效率 排气流量 腔体内部 湿式处理 压力影响 运营成本 转动机构 抽气口 空心管 吸附口 整体腔 雾气 抽气 吸除 制程 申请 吸收 | ||
1.一种湿式处理设备,其特征在于,设有腔体,所述腔体内部设有连接外部的抽气口,所述抽气口用于将所述腔体内部的雾气排出,所述腔体内部设有除雾装置,所述除雾装置包括:
至少一层吸附网,用于将所述腔体内部的雾气吸收,进而在所述吸附网表面形成液滴;
空心管路,设有朝向所述吸附网的吸附口,用于将所述吸附网表面的液滴吸除,所述空心管路连接所述抽气口;以及
主动转动机构和从动转动机构,所述吸附网设置于所述主动转动机构和所述从动转动机构之间;所述吸附网在所述主动转动机构的驱动下做循环转动;
其中,所述除雾装置还包括若干条形挡板,所述条形挡板倾斜安装在所述吸附网的表面或多层所述吸附网之间;所述条形挡板的安装倾角小于90°且安装方向与所述主动转动机构转动的延展方向保持一致;相邻所述条形挡板之间的距离大于所述条形挡板在所述吸附网上的投影距离。
2.一种除雾装置,其特征在于,包括:
至少一层吸附网,用于将腔体内部的雾气吸收,进而在所述吸附网表面形成液滴;
空心管路,设有朝向所述吸附网的吸附口,用于将所述吸附网表面的液滴吸除,所述空心管路连接抽气口;以及
主动转动机构和从动转动机构,所述吸附网设置于所述主动转动机构和所述从动转动机构之间;所述吸附网在所述主动转动机构的驱动下做循环转动;
其中,所述除雾装置还包括若干条形挡板,所述条形挡板倾斜安装在所述吸附网的表面或多层所述吸附网之间;所述条形挡板的安装倾角小于90°且安装方向与所述主动转动机构转动的延展方向保持一致;相邻所述条形挡板之间的距离大于所述条形挡板在所述吸附网上的投影距离。
3.根据权利要求2所述的除雾装置,其特征在于,所述空心管路的设置方向与所述吸附网的循环转动方向相交。
4.根据权利要求2所述的除雾装置,其特征在于,所述空心管路与所述吸附网之间设有间隙。
5.根据权利要求2所述的除雾装置,其特征在于,所述抽气口与外界负压相连,使得所述空心管路内具有向内吸附的能力并通过所述抽气口排出液滴。
6.一种除雾方法,其特征在于,包括以下步骤:
通过吸附网将湿式处理设备腔体内雾气吸附住,在所述吸附网上聚集形成液滴;其中,所述吸附网通过两个转动机构做循环转动;
所述液滴在两个所述转动机构的带动下,由所述吸附网的下吸附网转动到所述吸附网的上吸附网;
当所述液滴位于所述转动机构两端时,由倾斜安装在所述吸附网表面或多层所述吸附网之间的若干条形挡板挡住;其中,所述条形挡板的安装倾角小于90°且安装方向与所述转动机构转动的延展方向保持一致;相邻所述条形挡板之间的距离大于所述条形挡板在所述吸附网上的投影距离;
通过空心管路收集所述吸附网上液滴并通过抽气口排出。
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