[发明专利]夹持对位装置及方法

说明书

本发明提供一种夹持对位装置及方法。所述装置包括多个夹持对位机构及至少一个驱动装置，多个夹持对位机构分布在待夹持的基板周围，每一夹持对位机构包括一升降对位部及一夹持部，升降对位部的横截面为椭圆形，夹持部设置在升降对位部的一端且突出于升降对位部，夹持部的突出方向与升降对位部的横截面的短轴的延伸方向具有一夹角，升降对位部与驱动装置连接，驱动装置能够驱动升降对位部升降，并能够驱动升降对位部在第一位置与第二位置之间旋转，升降对位部带动夹持部升降并在远离基板的方向及基板上方之间旋转。本发明优点是，驱动装置驱动升降对位部及夹持部，对位及夹持精度高，速度和位置可自由调整，可有效降低破片风险，提高机台生产效率。

技术领域

本发明涉及液晶显示领域，尤其涉及一种在物理溅射成膜腔室内用于对位及夹持待溅射基板的基板的夹持对位装置及方法。

背景技术

在薄膜晶体管(TFT)基板制作过程中，需要在基板表面沉积Al、Mo、Ti、Cu、Ag等金属膜以及ITO、IGZO等非金属膜，这些膜层的沉积通常由物理气象沉积机(PVD)完成。由于薄膜晶体管基板为玻璃材质，厚度通常只有0.4～0.5mm，且成膜时玻璃基板需要保持直立，在进行制程时容易在成膜腔室发生基板破裂的问题。物理气象沉积机为真空类机台，一旦发生玻璃破片，清理破片往往需要很长时间。为了获得最大的生产效率，需要尽量避免破片问题的发生。因此，玻璃基板放入成膜腔室后，成膜前还需要对玻璃基板进行位置调整和固定，以在有效位置成膜，且玻璃基板被固定后，能够防止其在进行制程时发生破裂。

目前，主要通过设置在物理气象沉积机的腔室内的夹持装置来实现玻璃基板的位置调整及固定。图1是现有的基板夹持装置的结构示意图。请参阅图1，所述夹持装置包括多个夹持机构1，多个所述夹持机构1分布在基板14的周围，其中，由于每个夹持机构1的结构相同，则在图1中示意性地绘示了一个夹持机构1。每一夹持机构1包括一支撑部10，位于所述支撑部10顶端的夹持部11、位于所述支撑部10下部的弹性部12及一位于所述弹性部12下方的升降部13。其中，所述夹持部11突出于所述支撑部10，突出的部分位于所述基板的上方，所述弹性部12通过一弹簧穿过所述支撑部10与所述夹持部11连接。所述夹持装置的工作过程如下：所述升降部13上升，抵触并向上推所述弹性部12，弹性部12的弹簧受力拉伸，带动所述夹持部11向外侧打开(如图中箭头方向所示)；向腔室内放入基板14，通过多个夹持机构1的支撑部10的位置来调整基板14的位置；基板位置调整后，所述升降部13下降，弹性部12的弹簧不受力后恢复原状，进而带动所述夹持部11重新恢复至所述基板14的上方，进而起到夹持固定所述基板14的作用。其中，基板14的背面抵靠在一载台15上。

上述夹持装置的缺点在于，夹持部11的开关靠升降部13上升及下降及弹簧的弹力来实现，夹持速度和力度不易控制，且夹持高度需要开腔并使用治具调整夹持部的安装位置，关腔时无法调整，且关腔室无法实时监控夹持状况，发生异常时无法及时发现，对机台的稳定生产造成一定的影响。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一种夹持对位装置及方法，其能够有效地降低破片风险，提高机台生产效率。

为了解决上述问题，本发明提供了一种夹持对位装置，包括多个夹持对位机构及至少一个驱动装置，多个夹持对位机构分布在待夹持的基板周围，每一所述夹持对位机构包括一升降对位部及一夹持部，所述升降对位部的横截面为椭圆形，所述夹持部设置在所述升降对位部的一端且突出于所述升降对位部，所述夹持部的突出方向与所述升降对位部的横截面的短轴的延伸方向具有一夹角，所述升降对位部与所述驱动装置连接，所述驱动装置能够驱动所述升降对位部升降，并能够驱动所述升降对位部在第一位置与第二位置之间旋转，所述升降对位部带动所述夹持部升降并在远离基板的方向及基板上方之间旋转。

在一实施例中，所述夹持部沿椭圆形的长轴方向突出于所述升降对位部。

在一实施例中，在对位之前，所述升降对位部位于第一位置，在对位之后，所述升降对位部位于第二位置。