[发明专利]一种检测接口简化转换装置

说明书

本发明提出一种检测接口简化转换装置，包括：第一接口转换器，其与测试机的资源进行连接；第二接口转换器，其与针卡进行连接，其中所述第一接口转换器和第二接口转换器之间通过各自设置的转换器排线接口进行连接。进一步的，所述测试机包括多个资源，所述第一接口转换器设置有多个排线接口，分别与所述多个资源进行连接。本发明提出的检测接口简化转换装置，能够解决晶圆量产阶段多资源集合并行测试时，测试机与探针卡之间的连接复杂化问题，以及检测连线通路故障的问题，增加生产效率，降低人工成本。

技术领域

本发明涉及晶圆测试领域，且特别涉及一种检测接口简化转换装置。

背景技术

芯片测试系统通常包括：测试机(Automatic Test Equipment，ATE)，测试机是能够在测试结构上快速、准确、重复地测量亚微安级电流和毫伏级电压的自动装置。通常的，测试机上设置有插座，通过一带有插针的数据线，所述测试机便能够将测试信号发送给外部设备，或者从外部设备上接收反馈信号。其中，插座和插针通常统称为接口，其是实现测试机测试信号输出以及反馈信号接收的重要部件。随着芯片的集成度越来越高，出于对成本和效率的考虑，对于很多测试机，往往会存在少则十几组资源集合，多则几十组资源集合，甚至上百组资源集合一起测试的情况(请参考图1，测试机上多个site资源分别连接到针卡的排线接口)，从而使测试机与探针卡的连接复杂化，产线量产前组装容易出错，此外，接口的故障，排线的损坏，连线的错误等情况也很难检测，降低了生产效率，增加公司运营成本。

由于规模化量产，测试机资源很多，有许多排线需要插到针卡上，这些连接线需要手动一根根安装，产线技术人员需要花很多时间，增加了人工成本，降低了工作效率。

由于排线很多，产线技术人员容易出错，排线插错不易发现，测试晶圆的时候发现问题，浪费了测试时间，还有可能损坏测试机，一台测试机少则几十万，多则上百万，每维修一次增加很多公司运营成本。

综上所述，为了增加测试效率，测试机可以提供平若干资源同时测试晶圆若干管芯，现有方案测试机资源直接通过排线连接到探针卡，增加了工厂量产技术人员难度，降低了效率，连接好线后只能通过测试判断连接是否有问题，同样降低了生产效率。本发明在针卡和测试机之间增加了接口转换模块，测试机的资源全部接在一个接口转换器，另一个接口转换器连接到针卡，接口转换器之间通过一根排线连接，方便产线技术人员组装，在转换器中加入检测器，可以检查从测试机引出排线到针尖的导通性是否正常。

发明内容

本发明提出一种检测接口简化转换装置，能够解决晶圆量产阶段多资源集合并行测试时，测试机与探针卡之间的连接复杂化问题，以及检测连线通路故障的问题，增加生产效率，降低人工成本。

为了达到上述目的，本发明提出一种检测接口简化转换装置，包括：

第一接口转换器，其与测试机的资源进行连接；

第二接口转换器，其与针卡进行连接，

其中所述第一接口转换器和第二接口转换器之间通过各自设置的转换器排线接口进行连接。

进一步的，所述测试机包括多个资源，所述第一接口转换器设置有多个排线接口，分别与所述多个资源进行连接。

进一步的，所述针卡包括多个针卡排线接口，所述第二接口转换器设置有多个排线接口，分别与所述多个针卡排线接口进行连接。

进一步的，所述第一接口转换器和第二接口转换器分别设置有检测模块，分别连接于所述转换器排线接口。

进一步的，所述检测模块发出检测信号，并通过所述第一接口转换器和第二接口转换器分别传输到资源排线接口和针卡排线接口，用以检查测试机资源板到针卡针尖是否导通。