[发明专利]真空阀

说明书

本发明涉及一种真空阀，包括：阀体；第一和第二关闭件；传递件，其中，所述传递件通过纵向行程‑直线导向装置和横向行程‑直线导向装置与所述阀体连接，该横向行程‑直线导向装置包括平行于倾斜‑移调方向延伸的横向行程‑导向部件和可移动地被横向行程‑导向部件导向的横向行程‑滑块，该倾斜‑移调方向相对于纵向‑移调方向倾斜，为了使得所述传递件从所述中间位置移调至第一或第二关闭位置，可由所述横向行程‑传动件使得所述横向行程‑滑块相对于所述横向行程‑导向部件或者使得所述横向行程‑导向部件相对于所述横向行程‑滑块沿着或逆着所述倾斜‑移调方向从中部位置直线地移动至第一或第二顶压位置。

技术领域

本发明涉及一种真空阀，包括：

-阀体，其带有第一阀开口和第二阀开口，所述第一阀开口具有第一轴线且被第一阀座包围，所述第二阀开口具有第二轴线且被第二阀座包围，

-安置在阀杆上的第一和第二关闭件，

-安置在所述阀杆上的传递件，该传递件可沿着纵向-移调方向从打开位置移调到中间位置，且可沿着横向-移调方向从所述中间位置移调到第一关闭位置，并可逆着所述横向-移调方向从所述中间位置移调到第二关闭位置，在所述打开位置，第一和第二关闭件释放第一和第二阀开口，在所述中间位置，第一和第二关闭件遮盖第一和第二阀开口、但被抬升离开第一和第二阀座，在所述第一关闭位置，第一关闭件贴靠在第一阀座上，在所述第二关闭位置，第二关闭件贴靠在第二阀座上，

-纵向行程-传动件，由该纵向行程-传动件可使得传递件从所述打开位置移调至所述中间位置，

-纵向行程-直线导向装置，其具有平行于纵向-移调方向延伸的纵向行程-导向部件和可移动地被所述纵向行程-导向部件导向的纵向行程-滑块，其中，为了使得传递件从所述打开位置移调到所述中间位置，由所述纵向行程-传动件可使得所述纵向行程-滑块相对于所述纵向行程-导向部件或者使得所述纵向行程-导向部件相对于所述纵向行程-滑块沿纵向-移调方向直线地移动，

-横向行程-传动件，由该横向行程-传动件可使得传递件从所述中间位置移调至所述第一关闭位置或所述第二关闭位置。

背景技术

如下真空阀也称为L阀：在其中,为了关闭真空阀，关闭件首先沿着平行于阀杆纵轴线的纵向-移调方向从第一位置移动至第二位置，随后沿着与纵向-移调方向形成夹角的横向-移调方向移调至第三位置，在所述第一位置，关闭件释放阀开口，在所述第二位置，关闭件遮盖阀开口，但仍提升离开阀座，在该第三位置，关闭件贴靠在阀座上。

按照L阀的非常规的构造方式，阀杆围绕垂直于纵向-移调方向的轴线可摆动地安置，以便能够实现使得关闭件从其第二位置移调至其第三位置及反向移调。为了使得阀杆围绕轴线摆动，在此可以采用滑槽式导向装置，此点例如由US 6,237,892 B1、US 7,066,443 B2或US 2012/0258242 A1已知。

为了使得关闭件在第二位置和第三位置之间移调，关闭件沿着与纵向-移调方向夹成一角度特别是直角的横向-移调方向进行平行移动，对于这种L阀而言，按照传统的实施方式，为了使得关闭件在第二位置和第三位置之间移调，将传动部件设置在带有关闭件的承载单元上，其中，该承载单元位于真空阀的阀壳体内部，并安置在从真空阀的真空区域中伸出的阀杆上。L阀的这种设计例如由US 6,056,266 A、US 6,899,316 B2和US 7,611,122 B2已知。在此，由US 6,056,266 A和US 7,611,122 B2也已知顺序控制，以便保证活塞-汽缸单元的正确的操纵流程。用于L阀的另一这种顺序控制由US 8,177,190 B2已知。

由WO 2010/034046 A1和US 7,762,527 B2已知如下L阀：关闭件在第二位置与第三位置之间进行直线移动，其中，无论用于使得关闭件在第一和第二位置之间移调的传动件，还是用于使得关闭件在第二和第三位置之间移调的传动件，都设置在真空的外部。