[发明专利]一种用于化学气相沉积的反应设备

权利要求书

1.一种用于化学气相沉积的反应设备，其特征在于，包括：

炉罐(1)、可拆卸连接于炉罐(1)上的炉盖(2)、加热系统、预抽真空系统(3)、冷却系统(4)以及气流循环系统(5)；

所述炉罐(1)内设有凸出于炉罐(1)底部的工装(6)以及环设在工装(6)圆周方向的导风筒(7)，所述工装(6)的侧壁上设有第一通孔(611)；

所述炉盖(2)上设有延伸向炉罐(1)内的搅拌风扇(8)、与导风筒(7)相对接的托板(9)，所述托板(9)上设有第二通孔(91)；所述托板(9)、导风筒(7)与工装(6)围合形成风道一(10)，所述导风筒(7)外壁与炉罐(1)内壁之间形成风道二(11)，搅拌风扇(8)在旋转过程中形成气流，气流沿着风道二(11)、风道一(10)、风道二(11)的路径构成气流循环系统(5)；

所述预抽真空系统(3)包括炉盖连接管(12)、与炉盖连接管(12)相连通的真空过滤装置(13)，所述真空过滤装置(13)上连接有用于抽气的机械泵(14)；

所述冷却系统(4)包括冷却管路(15)，所述冷却管路(15)凸出于炉盖(2)的上表面且沿着炉盖(2)的圆周方向环设，所述冷却管路(15)的侧壁上设有用于与外接冷却水相连的进水嘴(16)与出水嘴(17)。

2.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积的反应设备，其特征在于：所述炉盖(2)的上表面圆心处凸出设有安装座(18)，所述安装座(18)上设有电机(19)，所述电机(19)的电机轴上连接有用于驱动搅拌风扇(8)旋转的转轴(20)。

3.根据权利要求2所述的一种用于化学气相沉积的反应设备，其特征在于：所述炉盖(2)朝向炉罐(1)内的一侧凸出设有环形隔热组件(21)，所述环形隔热组件(21)环绕转轴(20)设置，所述环形隔热组件(21)的底壁上凸出设有延伸杆(23)，所述延伸杆(23)远离环形隔热组件(21)的一端与托板(9)相连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于化学气相沉积的反应设备，其特征在于：所述托板(9)的圆周侧壁上环绕设有向下倾斜的环形边沿(24)，所述环形边沿(24)与托板(9)的底面共同围成用于罩设导风筒(7)上方的敞口的密封罩(25)。

5.根据权利要求2所述的一种用于化学气相沉积的反应设备，其特征在于：所述安装座(18)内设有冷却空腔(181)，所述安装座(18)的侧壁上设有分别与冷却空腔(181)相连通的进水管(182)与出水管(183)。

6.根据权利要求3所述的一种用于化学气相沉积的反应设备，其特征在于：所述炉盖连接管(12)包括凸出于炉盖(2)上表面的竖管一(121)、垂直于竖管一(121)设置的横管一(122)，所述竖管一(121)贯穿环形隔热组件(21)至与炉罐(1)相连通；所述真空过滤装置(13)包括竖直延伸的过滤管(131)以及设置在过滤管(131)内的滤芯(37)，所述过滤管(131)的侧壁上垂直设有向相反方向延伸的横管二(132)与横管三(133)，所述横管二(132)与横管一(122)通过法兰连接，所述横管三(133)与机械泵(14)相连。

7.根据权利要求6所述的一种用于化学气相沉积的反应设备，其特征在于：所述横管二(132)的侧壁上设有用于对炉罐(1)内气压进行放气的放气阀(26)以及用于测量炉罐(1)内真空度的真空硅管(27)。

8.根据权利要求7所述的一种用于化学气相沉积的反应设备，其特征在于：所述炉盖(2)上设有用于排出炉盖(2)内气压的排气阀(28)、监测炉盖(2)内气压的压强表(29)以及用于配合安装热电偶以监测炉罐(1)内温度的热电偶安装座(30)。