[发明专利]薄膜电池工艺设备的温度测试方法及系统

权利要求书

1.一种薄膜电池工艺设备的温度测试方法，其特征在于，包括：

步骤S1、使测试装置依次进入工艺设备的进片腔、加热腔、工艺腔、冷却腔和出片腔，依次测试并同时存储所述加热腔、工艺腔和冷却腔中各个加热区的当前温度；

步骤S2、将当前温度与预设温度进行比对，根据比对结果调整所述加热腔、工艺腔和冷却腔中的各个加热区的加热器的加热温度。

2.根据权利要求1所述的温度测试方法，其特征在于，步骤S1具体包括：

步骤S11、以第一预设速度将测试装置输送至所述进片腔；

步骤S12、以第二预设速度将测试装置输送至所述加热腔，测试并同时存储所述加热腔中各加热区的当前温度；

步骤S13、检测所述加热腔内的第一工艺参数，如果所述第一工艺参数达到预定值，则以第三预设速度将测试装置输送至所述工艺腔，测试并同时存储所述工艺腔中各加热区的当前温度；所述第一工艺参数包括所述加热腔内气体的压力、温度和气流量。

3.根据权利要求2所述的温度测试方法，其特征在于，步骤S1还包括：

步骤S14、检测所述工艺腔内的第二工艺参数，如果所述第二工艺参数达到预定值，则以第四预设速度将测试装置输送至所述冷却腔，测试并同时存储所述冷却腔中各加热区的当前温度；所述第二工艺参数包括所述工艺腔内气体的压力、温度和气流量。

4.根据权利要求3所述的温度测试方法，其特征在于，步骤S1还包括：

步骤S15、检测所述冷却腔内的第三工艺参数，如果所述第三工艺参数达到预定值，则以第五预设速度将测试装置输送至所述出片腔；所述第三工艺参数包括所述冷却腔内气体的压力、温度和气流量。

5.根据权利要求1-4任一项所述的温度测试方法，其特征在于，步骤S2之后，所述测试方法还包括：

步骤S3、检测加热器的温度，如果所述加热器的温度超过或低于限定值，则断电报警。

6.一种薄膜电池工艺设备的温度测试系统，其特征在于，包括测试装置、存储装置和控制装置；

所述测试装置用于依次进入工艺设备的进片腔、加热腔、工艺腔、冷却腔和出片腔，并依次测试所述加热腔、工艺腔和冷却腔中各个加热区的当前温度；

所述存储装置用于在所述测试装置进行温度测试的同时将当前温度进行存储；

所述控制装置用于将当前温度与预设温度进行比对，根据比对结果调整所述加热腔、工艺腔和冷却腔中的各个加热区的加热器的加热温度。

7.根据权利要求6所述的温度测试系统，其特征在于，还包括输送装置，用于输送所述测试装置。

8.根据权利要求7所述的温度测试系统，其特征在于，还包括多个传感器，所述传感器用于检测所述加热腔的第一工艺参数、所述工艺腔的第二工艺参数和所述冷却腔的第三工艺参数。

9.根据权利要求6-8任一项所述的温度测试系统，其特征在于，所述测试装置包括测试板和热电偶，所述测试板的形状和尺寸与待加工的电池基板的形状和尺寸相同，所述热电偶设置在所述测试板上。

10.根据权利要求9所述的温度测试系统，其特征在于，所述热电偶的数量是多个，多个热电偶分布在所述测试板上的位置对应于各个腔室的各个加热区。