[发明专利]蒸镀腔体、蒸镀设备及蒸镀方法

说明书

本发明公布了一种蒸镀腔体，所述蒸镀腔体包括密封腔及位于所述密封腔内的固定装置与蒸镀源装置，所述固定装置包括旋转单元与蒸镀单元，所述蒸镀单元包括至少两个固定位，所述固定位用于固定和贴合基板与掩膜板，所述蒸镀单元转动连接所述旋转单元，所述蒸镀单元用于将所述基板与所述掩膜板转动至面对所述蒸镀源装置，所述固定装置通过所述旋转单元相对所述蒸镀源装置旋转，以使所述蒸镀源装置旋转蒸镀蒸镀源至所述基板。本发明还公布了一种蒸镀设备和蒸镀方法。节约了对位、贴合、分离、传输等步骤的时间，提高了蒸镀节拍，大幅减少持续输出的蒸镀源的闲置时间，提高蒸镀源使用率，降低生产材料成本，设备产出率高。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其是涉及一种蒸镀腔体、蒸镀设备及蒸镀方法。

背景技术

有机发光二极管显示器(Organic Light-Emitting Diode，OLED)具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低耗电、极高反应速度等优点，在显示设备领域的应用越来越广。目前市场上OLED显示器制备过程包括将OLED发光材料(蒸发源)填充入基板像素内，即真空蒸镀技术，真空蒸镀技术依靠蒸镀设备完成，蒸镀设备包含传送系统、蒸镀腔体等部分，蒸镀腔体是完成真空蒸镀的主要部分，在蒸镀腔体中，基板与掩模板的对位、贴合及旋转均对真空蒸镀效果有重要的影响。

现有技术中，传送系统每次传送一个基板至蒸镀腔体内进行真空蒸镀，为了保持蒸发源有稳定的输出速率和温度，蒸发源需要持续输出，即在基板传输、对位等蒸发源未参与的过程中蒸发源装置也在一直正常工作，导致蒸发源浪费严重，由于OLED发光材料价格昂贵，OLED显示器制造成本较高。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种蒸镀腔体、蒸镀设备及蒸镀方法，用以解决现有技术中OLED显示器制造过程中蒸发源浪费严重，导致OLED显示器制造成本较高的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种蒸镀腔体，所述蒸镀腔体包括密封腔及位于所述密封腔内的固定装置与蒸镀源装置，所述固定装置包括旋转单元与蒸镀单元，所述蒸镀单元包括至少两个固定位，所述固定位用于固定和贴合基板与掩膜板，所述蒸镀单元转动连接所述旋转单元，所述蒸镀单元用于将所述基板与所述掩膜板转动至面对所述蒸镀源装置，所述固定装置通过所述旋转单元相对所述蒸镀源装置旋转，以使所述蒸镀源装置旋转蒸镀蒸镀源至所述基板。

进一步，所述蒸镀单元包括第一固定位与第二固定位，所述第一固定位与所述第二固定位相对设置，所述第一固定位与所述第二固定位之间设有控制轴与压板，所述控制轴推动所述压板以使所述基板贴合所述掩膜板。

进一步，所述蒸镀腔体还包括电荷耦合器件相机，所述电荷耦合器件相机位于所述掩膜板背离所述基板的一侧，用于对所述基板和所述掩膜板进行对位。

进一步，所述蒸镀腔体还包括夹钳，所述夹钳用于传输所述掩膜板和所述基板。

本发明还提供一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括传送系统及以上任意一项所述蒸镀腔体，所述传送系统传输所述基板至所述蒸镀腔体进行蒸镀操作。

本发明还提供一种蒸镀方法，包括：提供蒸镀设备，所述蒸镀设备包括传送系统与蒸镀腔体，所述蒸镀腔体包括密封腔及位于所述密封腔内的固定装置与蒸镀源装置，所述固定装置包括旋转单元与蒸镀单元，所述蒸镀单元包括至少两个固定位，所述蒸镀单元转动连接所述旋转单元，所述固定装置通过所述旋转单元相对所述蒸镀源装置旋转，

所述传送系统传输至少两个基板至所述蒸镀腔体，每个所述基板固定于一个所述固定位；

贴合所述基板与对应的掩膜板；

所述旋转单元相对所述蒸镀源装置旋转，以使所述蒸镀源装置旋转蒸镀蒸镀源至面对所述蒸镀源装置的所述固定位的所述基板；

转动所述蒸镀单元，切换面对所述蒸镀源装置的所述固定位，并旋转所述旋转单元进行蒸镀；