[发明专利]粉末堆积体的制造装置及制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种粉末堆积体的制造装置及制造方法。

背景技术

当在光纤用母材的制造过程中形成粉末堆积体时，有一种技术是通过在堆积体的两端附近配置侧部喷灯，对该部分的粉末堆积体进行烧制，来防止粉末堆积体部分剥离的粉末剥落(参照专利文献1)。

专利文献1：日本专利特开2003-165738号公报

有时候堆积在侧部喷灯更外侧位置的微粒子会剥落。

发明内容

根据本发明的第1方面，提供一种制造粉末堆积体的制造装置，包括：主喷灯，一边沿着靶棒的长度方向平行移动，一边在靶棒上堆积玻璃微粒子；及一对侧部喷灯，位于靶棒的两端部，对靶棒上堆积的玻璃微粒子的端部附近进行烧制；且一对侧部喷灯的至少一个具有多个加热用喷灯，所述多个加热用喷灯在靶棒的圆周方向上配置。

根据本发明的第2方面，提供一种制造粉末堆积体的制造方法，包括以下阶段：一边沿着靶棒的长度方向平行移动，一边在靶棒上堆积玻璃微粒子；及利用配置在靶棒两端部的一对侧部喷灯，对靶棒上堆积的玻璃微粒子的端部附近进行烧制；且一对侧部喷灯的至少一个具有多个加热用喷灯，所述多个加热用喷灯在靶棒的圆周方向上配置。

所述发明内容并未列举出本发明的所有可能特征。这些特征群的次组合也属于本发明。

附图说明

图1是制造装置101的与靶棒60平行的概略水平截面图。

图2是制造装置101的与靶棒60平行的概略水平截面图。

图3是制造装置101的与靶棒60正交的概略垂直截面图。

图4是制造装置102的与靶棒60正交的概略垂直截面图。

图5是制造装置103的与靶棒60正交的概略垂直截面图。

图6是制造装置104的与靶棒60正交的概略垂直截面图。

图7是制造装置105的与靶棒60正交的概略垂直截面图。

图8是制造装置106的与靶棒60正交的概略垂直截面图。

图9是制造装置107的与靶棒60平行的概略水平截面图。

图10是制造装置107的与靶棒60正交的概略垂直截面图。

图11是制造装置108的与靶棒60正交的概略垂直截面图。

具体实施方式

以下，通过发明的实施方式来说明本发明。下述实施方式并不限定权利要求书的发明。另外，实施方式中说明的特征的组合并非全部是发明的解決手段所必需的。

图1是表示制造粉末堆积体的制造装置101的一例的概略水平截面图。制造装置101具有腔室10、旋转机构20、夹头30、侧部喷灯40、及主喷灯70。

在腔室10内部的长度方向两端附近，分别配置有旋转机构20及夹头30。一对夹头30分别被支撑为能够相对于腔室10旋转，并固持靶棒60的两端。旋转机构20通过旋转夹头30，来旋转夹头30固持的靶棒60。

主喷灯70具有第1堆积用喷灯81及第2堆积用喷灯82。第1堆积用喷灯81及第2堆积用喷灯82各自在相对于包含夹头30固持的靶棒60的垂直面对称的位置上，面朝靶棒60配置。第1堆积用喷灯81及第2堆积用喷灯82各自分别包含3根喷灯喷嘴，当被供给原料气体时，生成堆积在夹头30固持的靶棒60上的玻璃微粒子。

另外，主喷灯70与靶棒60的延伸方向平行地进行移动。因此，主喷灯70在夹头30之间一边沿着靶棒60的长度方向移动，边堆积玻璃微粒子，生成以靶棒60为中心轴的粉末堆积体50。

例如，将SiCl₄等原料气体和H₂、O₂、N₂气体一起供给至主喷灯70，通过水解反应生成玻璃微粒子，并堆积在靶棒60上。这样，通过外置法形成粉末堆积体50。所形成的粉末堆积体通过烧结而透明化，变成包覆层。

侧部喷灯40分别配置在主喷灯70的移动范围的两端。另外，各侧部喷灯40具有相对于包含靶棒60的垂直面对称地配置的一对加热用喷灯41、42。加热用喷灯41、42和主喷灯70分开地，另行加热靶棒60上形成的粉末堆积体50的两端附近。

图2是制造装置101的与靶棒60平行的概略水平截面图。图2中示出的状态为，制造装置101动作，主喷灯70不断在靶棒60上堆积玻璃微粒子。