[发明专利]隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置

权利要求书

1.一种隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置，其特征在于，包括：键合基板、支撑框架、驱动质量块、检测质量块、中心质量块、驱动组合梁、检测组合梁、驱动磁体、检测磁体、隧道磁阻元件、驱动导线、驱动反馈导线等组成，在键合基板上部设置一凹槽，凹槽上部左、右两侧设置驱动磁体，前、后两侧隧道磁阻元件，支撑框架设置在键合基板上方，在支撑框架前、后、左、右部设置座槽，驱动质量块设置在支撑框架左、右部，通过驱动组合梁与支撑框架连接，检测质量块设置在支撑框架前、后部，通过检测组合梁与支撑框架连接，中心质量块设置在支撑框架中间位置，通过驱动组合梁连接检测质量块，通过检测组合梁连接驱动质量块。

2.根据权利要求1所述的隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置，其特征在于，在键合基板上部设置一凹槽，凹槽左、右部设置两个驱动磁体，前、后部设置两个隧道磁阻元件，两个驱动磁体的长度远大于厚度，结构尺寸一致，两个隧道磁阻元件结构尺寸一致，与上方检测质量块沉积的检测磁体相对应。

3.根据权利要求2所述的隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置，其特征在于，隧道磁阻元件为纳米多层膜结构，在半导体材料衬底层上自上而下依次排布为顶电极层、磁性自由层、绝缘层、磁性钉扎层、底电极层。

4.根据权利要求3所述的隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置，其特征在于，所述驱动质量块数量有两个，结构尺寸一致，驱动质量块前、后部设置用于设置驱动组合梁的驱动运动空间，驱动质量块与驱动组合梁厚度一致，驱动组合梁用于连接驱动质量块与支撑框架，在驱动质量块、驱动检测梁上沉积有所述驱动导线、驱动反馈导线，在支撑框架上沉积有驱动上电极、驱动下电极、驱动反馈上电极、驱动反馈下电极。

5.根据权利要求4所述的隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置，其特征在于，所述检测质量块数量有两个，结构尺寸一致，检测质量块左、右部设置有用于设置检测组合梁的检测运动空间，检测质量块与检测组合梁厚度一致，检测组合梁用于连接检测质量块与支撑框架，检测质量块上方设置检测磁体，检测质量块的大小大于检测磁体的大小，检测磁体数量为两个，结构尺寸一致。

6.根据权利要求5所述的隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置，其特征在于，所述中心质量块数量为一个，在中心质量块前、后部设置两个用于设置驱动组合梁的驱动运动空间，左、右部设置两个用于设置检测组合梁的检测运动空间，驱动运动空间大小一致，检测运动空间大小一致，在中心质量块前、后部驱动运动空间内设置驱动组合梁，驱动组合梁结构尺寸大小一致，与中心质量块厚度一致，用于连接检测质量块与中心质量块，在中心质量块左、右部检测运动空间内设置检测组合梁，检测组合梁结构尺寸大小一致，与中心质量块厚度一致，用于连接驱动质量块与中心质量块。

7.根据权利要求6所述的隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置，其特征在于，所述驱动组合梁共六个，结构尺寸一致，分别设置在支撑框架左侧驱动质量块、中心质量块、支撑框架右侧驱动质量块前、后部的驱动运动空间内，驱动质量块及中心质量块前部设置的驱动组合梁由驱动梁、大连接块、小连接块组成，四根驱动梁均与大连接块连接，外侧两根驱动梁用于连接质量块与大连接块，内侧两个驱动梁用于连接大连接块与小连接块；驱动质量块及中心质量块后部设置的驱动组合梁由驱动梁、大连接块、小连接块组成，四根驱动梁均与大连接块连接，外侧两根驱动梁用于连接质量块与大连接块，内侧两个驱动梁用于连接大连接块与小连接块；驱动梁为直梁结构，形状呈细长状，即驱动梁的长度远大于它的宽度与厚度，在驱动运动空间内平行排布。

8.根据权利要求7所述的隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置，其特征在于，所述检测组合梁共六个，结构尺寸一致，分别设置在支撑框架前部检测质量块、中心质量块、支撑框架后部驱动质量块左、右侧的检测运动空间内，检测质量块及中心质量块左侧的检测组合梁由四根检测梁、大连接块、小连接块组成，四根检测梁均与大连接块连接，外侧两根检测梁用于连接检测质量块与大连接块，内侧两个检测梁用于连接大连接块与小连接块，检测质量块及中心质量块右侧的检测组合梁由四根检测梁、大连接块、小连接块组成，四根检测梁均与大连接块连接，外侧两根检测梁用于连接检测质量块与大连接块，内侧两个检测梁用于连接大连接块与小连接块，检测梁为直梁结构，形状呈细长状，即检测梁的长度远大于它的宽度与厚度，在检测运动空间内平行排布。