[发明专利]碳酸氢气水及其在基板表面的应用在审
| 申请号： | 201710692205.4 | 申请日： | 2017-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN107619098A | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 李在龙 | 申请（专利权）人： | MAG技术株式会社;天津高登泰克电子有限公司;李茂根 |
| 主分类号： | C02F1/70 | 分类号： | C02F1/70;H01L21/02 |
| 代理公司： | 天津盛理知识产权代理有限公司12209 | 代理人： | 高璇 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 碳酸 氢气 及其 表面 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳酸氢气水，其特征在于：通过氢气水中溶解二氧化碳而成，制备后的碳酸氢气水pH值为4.0～6.8,氧化还原电位为-50mv～-650mv,导电率为0.072uS/cm～80uS/cm。
2.根据权利要求1所述的碳酸氢气水，其特征在于：所述氢气水是采用纯水制得，制备后的氢气水的pH值为5.5～6.8,氧化还原电位为-200mV～650mV,氢气溶解浓度为0.1ppm～2.0ppm。
3.根据权利要求1所述的碳酸氢气水，其特征在于：所述纯水是溶解纯水或超纯水或电解纯水或超纯水，纯水的溶解导电率为50uS/㎝。
4.一种如权利要求1所述的碳酸氢气水的基板表面的应用，其特征在于：通过碳酸氢气水对基板表面进行清洗，其清洗步骤是：
⑴将基板按照规定的旋转速度进行旋转清洗，此时，基板的转速为80～300rpm；
⑵利用喷嘴将碳酸氢气水喷洒在旋转的基板表面，向碳酸氢气水种添加1～3兆赫兹的超声波，碳酸氢气水的喷洒持续5～10分钟。
5.根据权利要求4所述的碳酸氢气水的基板表面的应用，其特征在于：步骤⑵中，利用高频震动器对所述基板进行振动。
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