[发明专利]一种背接触太阳能电池片电极环绕交错结构及制备方法在审
| 申请号: | 201710690415.X | 申请日: | 2017-08-14 |
| 公开(公告)号: | CN107507875A | 公开(公告)日: | 2017-12-22 |
| 发明(设计)人: | 蓝家平;陆森荣 | 申请(专利权)人: | 江苏科来材料科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224 |
| 代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司32232 | 代理人: | 何蔚 |
| 地址: | 215500 江苏省苏州市常熟市联丰路5*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 接触 太阳能电池 电极 环绕 交错 结构 制备 方法 | ||
1.一种背接触太阳能电池片电极环绕交错结构,其特征在于,包括:电池片、正电极线、负电极线;所述电池片背面设置N+极和P+极;
所述正电极线和负电极线分别环绕在所述电池片背面,且正电极线与负电极线相互交错;
所述正电极线丝印于P+极(11)上;所述负电极线丝印于N+极(13)上;所述电池片背面刻蚀沟槽,P+极(11)或N+极(13)的一种位于沟槽内。
2.根据权利要求1所述的一种背接触太阳能电池片电极环绕交错结构,其特征在于,所述电池片从正面到背面依次包括:制绒面(7)、前表面场(8)、衬底(9)、背表面场(10);所述背表面场包括由B掺杂形成的P+极(11)、由P扩散形成的N+极(13)。
3.根据权利要求1或2任一项所述的一种背接触太阳能电池片电极环绕交错结构,其特征在于,所述制绒面(7)上覆盖减反射镀膜。
4.根据权利要求1或2任一项所述的一种背接触太阳能电池片电极环绕交错结构,其特征在于,所述衬底(9)为P型硼衬底或N型硅衬底的一种。
5.根据权利要求1所述的一种背接触太阳能电池片电极环绕交错结构,其特征在于,所述正电极线包括:正触点电极(1)、正条状接触电极(2),正环线接触电极(3);所述正触点电极(1)位于所述电池片外边缘一侧,且正触点电极(1)引出正条状接触电极(2)至电池片背部中心位置,所述正环线接触电极(3)从正触点电极(1)和正条状接触电极(2)两侧引出。
所述负电极线包括:负触点电极(4),负条状接触电极(5),负环线接触电极(6);所述负触点电极(4)位于所述电池片外边缘一侧,且负触点电极(5)引出负条状接触电极(5)至电池片背部中心位置,所述负环线接触电极(6)从负触点电极(4)和负条状接触电极(5)两侧引出。
6.根据权利要求1或5任一项所述的一种背接触太阳能电池片电极环绕交错结构,其特征在于,所述正环线接触电极(3)设置至少四条;最外条正环线接触电极(3)沿电池片外边环绕至所述负触点电极(4)或负条状接触电极(5)的一种,且每条正环线接触电极(3)互相平行且向电池片背部中心位置缩进;
所述负环线接触电极(6)设置至少四条;最外条负环线接触电极(6)沿电池片外边环绕至所述正触点电极(1)或正条状接触电极(2)的一种,且每条负环线接触电极(6)互相平行且向电池片背部中心位置缩进。
7.根据权利要求1或5任一项所述的一种背接触太阳能电池片电极环绕交错结构,其特征在于,所述正环线接触电极(3)和负环线接触电极(6)交错设置,且外环线接触电极(6)环绕正环线接触电极(3)至所述正触点电极(1)或正条状接触电极的一种。
8.根据权利要求1或5任一项所述的一种背接触太阳能电池片电极环绕交错结构,其特征在于,所述正触点电极(1)和负触点电极(4)关于所述电池片中心轴对称。
9.根据权利要求1所述的一种背接触太阳能电池片电极环绕交错结构,其特征在于,所述沟槽深度确保正电极丝和N+极(13)不接触,负电极线丝和P+极(11)不接触。
10.一种背接触太阳能电池片电极环绕交错结构制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:选择衬底(9),并用HF酸和HCl溶液浸泡清洗;
S2:在衬底(9)正面用低浓度碱溶液腐蚀,制成具有椎体的制绒面(7);并在制绒面(7)上进行P扩散,形成前表面场(8);
S3:采用PECVD工艺,在所述制绒面(7)上覆盖减反射镀膜;
S4:在衬底(9)背面B掺杂区掺杂B,形成P+极(11);并采用PECVD工艺在衬底(9)背面沉积Si3N4层(12);并采用湿法刻蚀或干法刻蚀的一种在P+极(11)上丝印刻蚀光阻;
S5:在衬底(9)背面采用HF酸和HNO3刻蚀出P扩散区沟槽,并通入含P蒸汽,进行扩散形成N+极(13);并利用BHF去除步骤S2中的Si3N4层(12),再次采用PECVD工艺沉积Si3N4层(12);并采用湿法刻蚀或干法刻蚀的一种在N+极(13)上丝印刻蚀光阻;
S6:在P+极(11)上丝印正电极线并烧结,在所述N+极(13)上丝印负电极线并烧结。
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