[发明专利]一种钛酸镧薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种钛酸镧薄膜的制备方法，该方法包括如下步骤：

（1）对聚酯基底进行等离子体表面处理

将柔性聚酯基底放入含有一定洗洁剂的去离子水中，在去离子水中超声10-15min；然后，用柔软干净的毛刷逐一对柔性聚酯基底的正反面进行洗刷以去除基底表面的污垢和油污，之后，用去离子水反复冲洗基底，直至基底无泡沫为止；接着，将柔性聚酯放入乙醇中超声10-15min，以去除基底表面的有机物，之后，用去离子水反复冲洗基底4-6次；接着，将柔性聚酯基底进行去离子水超声25-30mins，然后，将容器中超声后的去离子水倒出，加入新的去离子水；最后，将洁净的柔性聚酯从去离子水中逐一取出平铺在洁净的大号培养皿上，一起放进温度为55-60℃的洁净烘箱内进行烘烤24-30h；

将清洗、干燥后的柔性聚酯基底放入磁控溅射机的腔体内，关闭磁控溅射机的所有阀门、窗口、所有靶材正下方的溅射挡板，对腔体进行抽真空，至3×10^-4-5×10^-4pa；

将反溅射挡板旋转至柔性聚酯基底的正上方，通入氩气和氧气，调节聚酯基底与反溅射挡板的间距，设定相应的氩氧比例、总体气体流量、工作气压、溅射功率和等离子体处理时间，对柔性聚酯基底表面进行反溅射等离子体处理；

（2）以乙二醇甲醚为溶剂，以硝酸镧、醋酸钛和硝酸银为溶质配制绿色透明溶液，其中La³⁺、Ti²⁺和Ag⁺的摩尔比为1:1:0.05-0.1，La³⁺的摩尔浓度为0.1mol/L；将配制的绿色透明溶液滴到经等离子处理后的聚酯基底上进行旋涂镀膜，先以500-800转/分的速率旋涂5-10秒，再以2500-3500转/分的速率旋涂35-45秒得到前驱体湿膜；将得到的前驱体湿膜放入马弗炉中于350-380℃退火处理1-2分钟；重复多次涂镀和退火制得所需厚度的钛酸镧复合导电薄膜材料，其中最后一次的退火时间延长为10-15分钟。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤（1）中，等离子处理的工艺为：聚酯基底与反溅射挡板的间距为35-40mm；氩氧比例为5:1-6:1；氧气和氩气纯度均为99.99％；总气体流量为20-25sccm；工作气压为0.4-0.6pa；溅射功率为25-45W；等离子体处理时间为70-90s。