[发明专利]气体传感器用导电性氧化物烧结体、导电性氧化物烧结体、布线基板以及气体传感器

说明书

本发明涉及气体传感器用导电性氧化物烧结体、导电性氧化物烧结体、布线基板以及气体传感器。提供一种在室温下能够实现高电导率的导电性氧化物烧结体。一种气体传感器用导电性氧化物烧结体，其包含具有组成式：RE_aCu_bFe_cNi_dO_x(其中，RE表示稀土元素，a+b+c+d＝1，1.25≤x≤1.75)所示的钙钛矿型氧化物晶体结构的晶相，a、b、c、d满足0.375≤a≤0.524、0.050<b≤0.200、0.025≤c≤0.250、0.150≤d≤0.350。

技术领域

本发明涉及气体传感器用导电性氧化物烧结体、导电性氧化物烧结体、布线基板以及气体传感器。

背景技术

作为电子部件的陶瓷制品具备陶瓷制的基体、和基体上设置的电极，电极由金属形成是普遍的。作为这种制品，例如有：具有Ni电极、Pd电极、或Pt电极的层叠陶瓷电容器；具有Ag电极、Cu电极、或Ag-Pd电极的LTCC部件(低温同时煅烧陶瓷)；具有Pd电极的压电致动器；具有W电极的半导体封装体；具有Ir电极、或Pt电极的火花塞等。

其中，Ni、Cu、W在与陶瓷基体一起煅烧时需要控制气氛，因此，难以发挥陶瓷基体原有的性能，且存在制造成本变高的问题。另一方面，Ag的熔点低(962℃)，因此陶瓷基体的材质受到限制，进而，由于在低温下煅烧，因此有时陶瓷基体的特性会降低。另外，Pd、Ir、Pt这样的贵金属材料昂贵，因此，难以适用于需要大面积的电极中。

专利文献1中，作为电极用的氧化物，公开了常温下的电阻值高、温度上升的同时电阻值减少的具有负电阻温度特性的镧钴系氧化物。专利文献2中公开了，具有室温左右的电阻值高、且高温下B常数的绝对值大这样特性的镧钴系氧化物。然而，专利文献1、2中记载的导电性氧化物在室温下电阻率高，导电性不充分。

如上所述，以往的氧化物与金属相比，电导率极低，且B常数(温度系数)的绝对值大，因此，难以代替金属。需要说明的是，作为电导率大的氧化物，已知有钌系氧化物(RuO₂、SrRuO₃等)，但存在Ru昂贵这样的问题。因此，本申请的申请人在专利文献3中公开了，电导率高、且B常数(温度系数)小、适合作为导电性材料的氧化物烧结体。另外，非专利文献1中也公开了各种钙钛矿型氧化物。另外，专利文献4、5中公开了，镧、镍、铜、铁系钙钛矿型氧化物((La、Ni)(Cu、Fe)O₃)。专利文献4、5的氧化物例如用作固体氧化物型燃料电池的电极用的氧化物。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-116334号公报

专利文献2：日本特开2002-087882号公报

专利文献3：国际公开第2013/150779号公报

专利文献4：日本特开2012-169240号公报

专利文献5：日本特开2012-198990号公报

非专利文献

非专利文献1：Solid State Ionics,76(1995)273.

发明内容

发明要解决的问题