[发明专利]用于将材料薄膜沉积在衬底上的设备和方法

权利要求书

1.一种将薄膜沉积在衬底上的方法，其包括：

在使多个喷嘴或衬底相对于彼此移动的同时，从所述喷嘴喷射载气和材料，

其中将所述材料从至少两个喷嘴沉积在所述衬底上，所述至少两个喷嘴包含不同几何形状，

其中所述至少两个喷嘴包括两个或多个相对较小的喷嘴和一个相对较大的喷嘴，所述相对较小的喷嘴邻近所述相对较大的喷嘴安置；且

其中所述两个或多个相对较小的喷嘴安置在所述相对较大的喷嘴的相对侧。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述不同几何形状包括不同节流阀直径、不同的排出口直径、不同的横截面形状、不同孔角、不同壁角、距所述衬底的不同排出口距离以及相对于所述喷嘴或所述衬底的移动方向的不同前缘中的至少一者。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述相对较小的喷嘴定角度为相对于所述相对较大的喷嘴而聚拢。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述相对较小的喷嘴安置为比所述相对较大的喷嘴更靠近所述衬底。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述相对较小的喷嘴安置为比所述相对较大的喷嘴更远离所述衬底。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述至少两个喷嘴距所述衬底的排出口距离相差或更多。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述至少两个喷嘴包括相对于所述喷嘴或衬底的行进方向的交错布置。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述相对较小的喷嘴和相对较大的喷嘴安置成不垂直或平行于所述喷嘴或衬底的行进方向的布置。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述材料由所述喷嘴中的至少两者以至少部分重叠的图案沉积。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所述薄膜以包含多个横向间隔元件的图案沉积，所述元件中的每一者由所述多个喷嘴的单独喷嘴群组沉积。

11.根据权利要求1所述的方法，其中从所述喷嘴中的至少两者沉积所述材料提供比用单个喷嘴沉积图案将实现的图案更尖锐的边缘图案。

12.一种用于将材料薄膜沉积在衬底上的设备，其包括：

多个喷嘴，其与具有待沉积的材料的载体流体连通；以及

平移机构，其经配置以在沉积过程期间，使所述衬底和所述多个喷嘴中的至少一者相对于彼此移动，

其中至少两个喷嘴包含不同几何形状；

其中所述至少两个喷嘴包括两个或多个相对较小的喷嘴和一个相对较大的喷嘴，所述相对较小的喷嘴邻近所述相对较大的喷嘴安置；且

其中两个或多个相对较小的喷嘴安置在所述相对较大的喷嘴的相对侧。

13.根据权利要求12所述的设备，其中所述不同几何形状包含不同节流阀直径、不同的排出口直径、不同的横截面形状、不同孔角、不同壁角、距所述衬底的不同排出口距离以及相对于所述喷嘴或所述衬底的移动方向的不同前缘中的至少一者。

14.根据权利要求12所述的设备，其中所述相对较小的喷嘴定角度为相对于所述相对较大的喷嘴而聚拢。

15.根据权利要求12所述的设备，其中所述相对较小的喷嘴安置为比所述相对较大的喷嘴更靠近所述衬底。

16.根据权利要求12所述的设备，其中所述至少两个喷嘴距所述衬底的排出口距离相差或更多。

17.根据权利要求12所述的设备，其中所述喷嘴中的至少两者包含相对于所述喷嘴或所述衬底的行进方向的交错布置。