[发明专利]一种准分子激光退火ELA制程质量量测方法与系统有效
| 申请号： | 201710682116.1 | 申请日： | 2017-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN107687937B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 杨慎东;郭连俊;颜圣佑 | 申请（专利权）人： | 苏州精濑光电有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 42104 武汉开元知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄行军 |
| 地址： | 215214 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 刻度尺 输出激光 量测 制程 准分子激光退火 线激光 光信号显示 激光照射 系统成本 输出 垂直 观测 采集 保证 | ||
1.一种准分子激光退火ELA制程质量量测方法，其特征在于包含步骤：
S1：提供一刻度尺，使ELA装置输出的线激光垂直照射于刻度尺的刻度上；
S2：采集激光照射于刻度尺上所产生的光信号并显示输出其信号图像；
S3：根据一段时间内输出信号的异常与否判断输出激光是否稳定；
所述刻度尺的基底和刻度线由不同的材料构成，所述ELA装置输出的线激光在所述刻度尺的基底和刻度线上产生的光信号不同。
2.如权利要求1所述准分子激光退火ELA制程质量量测方法，其特征在于，步骤S3中，判断输出激光是否稳定的过程如下：
若信号幅值异常，且异常出现在信号图像的同一位置，则判断为激光光路异常；
若信号幅值异常，且异常出现在信号图像的不同位置，则判断为激光输出不稳定或ELA装置的气体异常；
若信号幅值正常，则判断为激光输出稳定。
3.如权利要求1所述准分子激光退火ELA制程质量量测方法，其特征在于：所述刻度尺的刻度沿长度方向均匀分布，所述刻度尺的基底为非金属材料，刻度线为金属材料。
4.如权利要求3所述准分子激光退火ELA制程质量量测方法，其特征在于：所述刻度尺的最小分度值为0.3毫米、1毫米、2毫米、5毫米中的一种。
5.如权利要求3所述准分子激光退火ELA制程质量量测方法，其特征在于：所述刻度尺上沿宽度方向设有多排刻度，每排刻度均沿刻度尺长度方向均匀分布，每排所述刻度的最小分度值不同。
6.一种准分子激光退火ELA制程质量量测系统，其特征在于，包括：
刻度尺：所述刻度尺的基底和刻度线由不同的材料构成，ELA装置输出的线激光在所述刻度尺的基底和刻度线上产生的光信号不同；
ELA装置：用于输出线激光并垂直照射于所述刻度尺的刻度上；以及
信号接收器：用于采集激光照射于刻度尺上所产生的光信号并输出信号图像，进而根据输出信号的异常与否判断输出激光是否稳定。
7.如权利要求6所述的准分子激光退火ELA制程质量量测系统，其特征在于：所述刻度尺的刻度沿长度方向均匀分布，所述刻度尺的基底为非金属材料，刻度线为金属材料。
8.如权利要求7所述的准分子激光退火ELA制程质量量测系统，其特征在于：所述刻度尺的最小分度值为0.3毫米、1毫米、2毫米、5毫米中的一种。
9.如权利要求7所述的准分子激光退火ELA制程质量量测系统，其特征在于：所述刻度尺上沿宽度方向设有多排刻度，每排刻度均沿刻度尺长度方向均匀分布，每排所述刻度的最小分度值不同。
10.如权利要求6所述的准分子激光退火ELA制程质量量测系统，其特征在于：所述信号接收器为CCD。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州精濑光电有限公司，未经苏州精濑光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710682116.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
