[发明专利]线栅组件、起偏照明装置及光配向设备有效
申请号: | 201710681538.7 | 申请日: | 2017-08-10 |
公开(公告)号: | CN109387897B | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 赵灿武;朱树存 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G02B5/30 | 分类号: | G02B5/30;G02F1/1337 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 组件 照明 装置 设备 | ||
1.一种线栅组件,将入射到所述线栅组件的光束变为偏振光,其特征在于,所述线栅组件包括第一线栅偏振元件和第二线栅偏振元件;
所述第一线栅偏振元件和所述第二线栅偏振元件均包括基底和形成于基底表面的线栅,所述第一线栅偏振元件和所述第二线栅偏振元件的线栅的栅距相等;
所述第一线栅偏振元件设有多个,多个所述第一线栅偏振元件并排拼接,并且相邻两个所述第一线栅偏振元件之间均有拼接缝隙,所述拼接缝隙的隙宽为2mm~5mm;
在所有所述拼接缝隙的上方或下方均覆盖有所述第二线栅偏振元件,使入射至所述拼接缝隙的光束被所述第二线栅偏振元件偏振;
每个所述第一线栅偏振元件与相邻的另一第一线栅偏振元件进行拼接的拼接面均呈台阶形状,所述第二线栅偏振元件嵌入在相邻两个所述第一线栅偏振元件的拼接面之间;
在拼接方向上,所述第一线栅偏振元件的长度大于第二线栅偏振元件的长度。
2.如权利要求1所述的线栅组件,其特征在于,每个所述第二线栅偏振元件与每个所述拼接缝隙之间在垂向上有空隙。
3.如权利要求2所述的线栅组件,其特征在于,所述空隙的垂向高度优选为1mm~2mm。
4.如权利要求1所述的线栅组件,其特征在于,所述拼接面包括两级台阶,相邻两个所述第一线栅偏振元件的拼接面组合形成所述拼接缝隙和位于拼接缝隙下方的“凸”形空间,所述第二线栅偏振元件为凸形结构,所述凸形结构嵌入在所述“凸”形空间内。
5.如权利要求2所述的线栅组件,其特征在于,所述拼接缝隙的下方设置有透明支撑部。
6.如权利要求1所述的线栅组件,其特征在于,所述第二线栅偏振元件的栅面宽度大于3倍所述拼接缝隙的隙宽。
7.如权利要求6所述的线栅组件,其特征在于,所述第二线栅偏振元件的栅面宽度还需大于:拼接缝隙的隙宽+2*(所述第二线栅偏振元件与第一线栅偏振元件的线栅面高度差+第二线栅偏振元件自身的加工误差和缺陷影响宽度)。
8.如权利要求1所述的线栅组件,其特征在于,所述拼接缝隙中通入有冷却保护气体。
9.一种起偏照明装置,其特征在于,所述起偏照明装置包括照明组件和如权利要求1-8中任一项所述的线栅组件;
所述照明组件包括一线状光源;
所述线状光源发出光并通过所述线栅组件,以形成偏振光。
10.一种光配向设备,其特征在于,采用如权利要求9所述的起偏照明装置提供用于光配向的偏振光。
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