[发明专利]用于均匀控制大面积柔性衬底温度的方法

权利要求书

1.一种膜层制程工艺中用于均匀控制大面积柔性衬底温度的方法，其特征在于，包括如下步骤：

在柔性衬底的受热面上形成热接收层，并将所述热接收层的辐射系数控制在设定的范围内，所述柔性衬底的受热面为所述柔性衬底的第一表面，所述柔性衬底的与所述第一表面相对第二表面用于进行膜层制程工艺；

采样测量所述热接收层在加热单元处的辐射系数；

根据采样测量获得的辐射系数，对采样位置处对应的加热单元的温度进行控制。

2.根据权利要求1所述的用于均匀控制大面积柔性衬底温度的方法，其特征在于，将所述热接收层的辐射系数控制在设定的范围内具体包括：

通过控制沉积设备的制程工艺参数，以对所述热接收层的辐射系数进行控制。

3.根据权利要求1或2所述的用于均匀控制大面积柔性衬底温度的方法，其特征在于，加热单元的加热方式为红外非接触式加热，且所述设定的范围根据实际红外加热装置的红外发射波谱确定。

4.根据权利要求1所述的用于均匀控制大面积柔性衬底温度的方法，其特征在于，所述热接收层的材料为铝、铜、铁、镍、钼、钨、铅、锌、钛中其中一种的氧化物或其中多种的氧化物的混合物。

5.根据权利要求4所述的用于均匀控制大面积柔性衬底温度的方法，其特征在于，所述热接收层通过磁控溅射、真空蒸发和原子层沉积中的一种处理方式对金属源在含氧环境下进行反应后形成。

6.根据权利要求5所述的用于均匀控制大面积柔性衬底温度的方法，其特征在于，所述热接收层的厚度范围值为50-1000nm。

7.根据权利要求3所述的用于均匀控制大面积柔性衬底温度的方法，其特征在于，采样测量所述热接收层在加热单元处的辐射系数具体包括：

通过工艺腔室中的辐射系数检测单元检测与所述实际红外加热装置的红外发射波谱特征峰波长对应的辐射系数；

将检测结果反馈给加热控制单元计算修正，以通过所述加热控制单元控制所述加热单元的温度。

8.根据权利要求7所述的用于均匀控制大面积柔性衬底温度的方法，其特征在于，所述加热单元与所述辐射系数检测单元均设置有多个，且多个所述加热单元与多个所述辐射系数检测单元的位置一一对应。

9.根据权利要求8所述的用于均匀控制大面积柔性衬底温度的方法，其特征在于，所述加热单元到所述热接收层的距离大于5cm。

10.根据权利要求3所述的用于均匀控制大面积柔性衬底温度的方法，其特征在于，所述实际红外加热装置的红外发射波谱特征峰波长范围值为0.75-300μm。