[发明专利]一种直驱多通道单色器有效
| 申请号： | 201710665612.6 | 申请日： | 2017-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN107607200B | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 洪振;刁千顺;张小威;石泓;郑黎荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号： | G01J3/18 | 分类号： | G01J3/18 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人： | 司立彬 |
| 地址： | 100049 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 旋转轴 磁流体密封装置 晶体单色器 多通道单色器 直驱 马达旋转轴 避免振动 改善系统 机械设计 直驱电机 大气端 动平衡 起动 拆卸 堵转 噪声 转动 电机 驱动 维护 | ||
1.一种直驱多通道单色器，其特征在于，包括一直驱电机、一磁流体密封装置和一晶体单色器；其中，所述直驱电机的马达旋转轴与该磁流体密封装置的大气端旋转轴连接，该磁流体密封装置的真空端旋转轴与所述晶体单色器连接，驱动所述晶体单色器绕旋转轴转动；其中所述晶体单色器的旋转轴与磁流体密封装置的旋转轴一致；其中，所述晶体单色器包括若干对对称性衍射面，每对对称性衍射面与入射到该对对称性衍射面的光路满足固定的角度差时即有光束出射；所述直驱电机采用快-慢-快-慢的脉冲式驱动所述磁流体密封装置的旋转轴转动，当光路通过所述晶体单色器的对称性衍射面时，所述直驱电机的马达旋转轴的旋转速度降低，当光路被所述晶体单色器的对称性衍射面遮挡时，所述直驱电机的马达旋转轴的旋转速度提高。
2.如权利要求1所述的直驱多通道单色器，其特征在于，所述直驱电机的马达旋转轴通过一柔性联轴器与该大气端旋转轴连接。
3.如权利要求1所述的直驱多通道单色器，其特征在于，所述衍射面为硅的(220)晶面。
4.如权利要求3所述的直驱多通道单色器，其特征在于，所述晶体单色器的旋转轴为硅的<-111>晶向。
5.如权利要求1所述的直驱多通道单色器，其特征在于，根据所述直驱电机的马达旋转轴的旋转速度、所述晶体单色器的大小以及所述晶体单色器中相邻衍射面之间的间距，计算出光路通过每对对称性衍射面间的间隙的时间点，然后根据该时间点生成所述快-慢-快-慢的脉冲信号驱动所述磁流体密封装置的旋转轴转动。
6.如权利要求1所述的直驱多通道单色器，其特征在于，设置一检测器用于检测入射光信息，当未检测到入射光信息时，判断为光路被所述晶体单色器的对称性衍射面遮挡，当检测到入射光信息时，判断为光路通过所述晶体单色器的对称性衍射面；根据检测到的入射光信息生成所述快-慢-快-慢的脉冲信号驱动所述磁流体密封装置的旋转轴转动。
7.如权利要求1或2所述的直驱多通道单色器，其特征在于，所述晶体单色器卡箍在一底盘上，该底盘固定在所述磁流体密封装置的真空端旋转轴上。
8.如权利要求1或2所述的直驱多通道单色器，其特征在于，所述直驱电机为力矩电机或直线电机。
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