[发明专利]一种基板防污罩及基板磨边设备

说明书

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种基板防污罩及基板磨边设备。基板防污罩，包括：罩体，罩体具有防护侧，防护侧在基板磨边设备的工作过程中与待研磨的基板相对设置；水幕装置，在基板磨边设备的工作过程中，水幕装置用于在罩体的防护侧上形成流向基板的第一水幕，第一水幕所在的平面与基板之间在远离待研磨边的一侧的夹角小于90°，且在基板的待研磨边方向上，第一水幕的长度大于或等于基板的长度；冲洗装置，在基板磨边设备的工作过程中，冲洗装置用于在罩体的防护侧向基板排放清洗液体。可解决现有技术中的防污罩在磨边工艺后玻璃基板上残留的粉尘数量较多，进而降低OLED显示面板良率的问题。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种基板防污罩及基板磨边设备。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode；有机电致发光)显示面板的制备过程中，需对玻璃基板进行激光切割、磨边和清洗工艺，然后采用蒸镀法在玻璃基板上形成OLED器件。在磨边工艺中会产生大量的玻璃粉尘，OLED显示面板的生产过程中对玻璃基板表面的异物数量要求较高，而玻璃基板的表面在被玻璃粉尘污染后会降低后续工艺中形成的OLED器件的良率。

为减少在磨边工艺中对玻璃基板造成的粉尘污染，目前的解决方法为在磨边工艺过程中在玻璃基板的上方设置防污罩，防污罩的下表面设有若干个出水孔，在磨边过程中，防污罩可阻挡部分玻璃粉尘落入玻璃基板表面，同时可通过出水孔排出清洗液对玻璃基板表面进行清洗。然而，现有结构的防污罩对玻璃粉尘的防护能力和清洁能力仍不能满足OLED显示面板对玻璃基板表面异物数量的要求，在磨边工艺后玻璃基板上仍残留有较多玻璃粉尘，降低了OLED显示面板的良率。

发明内容

本发明提供了一种基板防污罩及基板磨边设备，用于解决现有技术中的防污罩对玻璃粉尘防护能力和清洁能力不足而导致的磨边工艺后玻璃基板上残留的粉尘数量较多，进而降低OLED显示面板良率的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下的技术方案：

一种基板防污罩，用于基板磨边设备，包括：

罩体，所述罩体具有防护侧，所述防护侧在所述基板磨边设备的工作过程中与待研磨的基板相对设置；

水幕装置，在所述基板磨边设备的工作过程中，所述水幕装置用于在所述罩体的防护侧上形成流向所述基板的第一水幕，所述第一水幕所在的平面与所述基板之间在远离所述待研磨边的一侧的夹角小于90°，且在所述基板的待研磨边方向上，所述第一水幕的长度大于或等于所述基板的长度；

冲洗装置，在所述基板磨边设备的工作过程中，所述冲洗装置用于在所述罩体的防护侧向所述基板排放清洗液体。

本发明提供的基板防污罩中，水幕装置可在基板磨边设备的工作过程中在罩体的防护侧形成流向基板的第一水幕，第一水幕在基板的待研磨边方向的长度大于或等于基板的长度，可阻挡部分基板磨边设备形成的粉尘落在基板表面，且第一水幕所在的平面与所述基板之间在远离所述待研磨边的一侧的夹角小于90°，可减小混入粉尘的水幕由基板边缘流向基板表面的概率；同时，冲洗装置还可在基板磨边设备的工作过程中向基板排放清洗液体，对基板表面进行冲洗。因此，本发明提供的基板防污罩可通过第一水幕阻挡部分粉尘，并通过冲洗装置对基板表面的粉尘进行冲洗，提高了防污罩对粉尘的防护能力和清洁能力，减少了磨边工艺后玻璃基板上残留的粉尘数量，进而可提高OLED显示面板良率。

可选地，在所述基板磨边设备的工作过程中，所述水幕装置还用于在所述罩体的防护侧上形成流向所述基板的第二水幕，所述第二水幕位于所述第一水幕远离所述待研磨边的一侧，所述第二水幕所在的平面与所述基板之间在远离所述待研磨边的一侧的夹角小于90°，且在所述基板的待研磨边方向上，所述第二水幕的长度大于或等于所述基板的长度。