[发明专利]压力传感器和减震构件

说明书

压力传感器(10)包括结合部(26)，和减震构件(30)，减震构件(30)中包括与支路径(20a)连通的流动路径(52)。减震构件(30)包括第一流动路径(54)，第一流动路径(54)被构造成使得流体线性地流动，阻挡壁(70)，阻挡壁(70)被构造成阻挡流体线性地流动，和第二流动路径(56)，第二流动路径(56)与第一流动路径(54)连通，并且被构造成使得流体沿不同于第一流动路径(54)的轴向中心的方向流动。进一步地，减震构件(30)包括出口(56a)，出口(56a)与第二流动路径(56)连通，并且用于调整流体压力的间隙(76)形成于减震构件(30)和结合部(26)之间。

技术领域

本发明涉及一种压力传感器，该压力传感器基于膈膜的变形而检测流体的压力，和一种减震构件，减震构件形成为流体在其内部流动的压力传感器的一部分。

背景技术

吸入和升高工件的传送装置例如包括压力传感器，每个压力传感器检测空气压力从而确定工件的吸入状态。每个这类压力传感器包括形成为内部空间的内壁的一部分的膈膜，并且基于由在内部空间中流动的流体的压力而导致的膈膜变形而检测压力(例如，参见日本平开专利公报No.2013-064664)。

在这类压力传感器中，通常直线地形成从流体流经其中的进入端口到膈膜的流动路线，并且膈膜被布置在面向该流动路线的位置。因此，膈膜直线(直接地)接收线性地流动的流体，因此，存在膈膜的耐用性容易劣化的不便。

鉴于上述不便，例如日本平开专利公报No.2013-064664公开的压力传感器，其包括在流体的流动路线上位于膈膜(金属膈膜)的上游的节流构件，以调节流体的流入，并因此提供压力衰减效果。

发明内容

然而，日本平开专利公报No.2013-064664公开的压力传感器的节流构件包括通孔，通孔允许流体经过流体的流动路线的中心部，或经过流体的流动路线的中心部附近。因此，当该压力传感器中流动的流体经过节流构件的通孔时，即使压力降低，流体仍然直接地移动到膈膜，并且冲击膈膜的中心部。特别地，当除空气之外流体还包括湿气和油时，由于湿气和油类的碰撞而导致的震动施加于隔膜，并且易于损伤膈膜。因此，膈膜的耐用性会较早地劣化。

鉴于上述情形做出本发明。本发明的目的是设置一种压力传感器和减震构件，其采用简单的构造以阻止流体直线流动，并且因此能够阻止对膈膜的损伤，和提高膈膜的耐用性。

为了达到上述目的，本发明是包括设置于流体的通道上的主体部的压力传感器，和附接至主体部的减震构件。减震构件包括第一流动路径，第一流动路径与通道连通，并被构造成使得流体线性地流动，壁部，壁部设置成面对第一流动路径，并被构造成阻挡流体线性地流动，和第二流动路径，第二流动路径被构造成允许第一流动路径和形成于减震构件的外周表面中的开口彼此连通，并被构造成使得流体沿不同于第一流动路径的轴向中心的方向流动。间隙形成于减震构件和主体部的内周表面之间，其中，间隙被构造成调整从开口流出的流体的压力，并且内周表面包围在开口附近的减震构件。主体部包括与间隙连通的检测空间，和膈膜，膈膜被构造成检测在检测空间内流动的流体的压力。

根据上述，压力传感器采用减震构件能够被附接到主体部的简单构造，从而能够提高膈膜的耐用性。也就是说，流体从通道流入第一流动路径，线性地流经第一流动路径，并且流体的流动在下游侧由壁部阻挡。然后，流体沿不同于第一流动路径的方向经过第二流动路径，并从开口流出。进一步地，流体经过间隙流动至检测空间，因此，膈膜检测压力。特别地，即使当流体包括湿气或者油时，阻止湿气或者油穿过第一流动路径并直接击中膈膜。因此，能够显著地抑制对膈膜的损伤。进一步地，减震构件或者主体部的内周表面使得能够容易地调整间隙的有效的截面面积，并且适当地使流体流动。

在这种情况下，减震构件优选地形成为螺纹形状，其可附接地并且可拆卸地螺合到由内周表面形成的孔部。